掺钪AlN材料特性及HBAR器件性能研究

该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e₃₃增加、刚度 下降,导致Al₁-_xSc_xN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al₁-_xSc_xN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。     

某金矿尾矿提纯石英应用对比试验研究

针对某金矿，在回收金银的基础上，对金银浮选尾矿进行云母和长石浮选，以及提纯石英试验，最终获得SiO2品位99.91%的石英产品。提纯石英产品与比利时矽比科矿业有限公司石英产品进行对比试验，通过化学成分、粒度组成、熔制、粘度和热膨胀系数测试对比试验，得出金矿提纯石英达到甚至超过矽比科进口石英产品的各项技术指标。     

石英尾砂料仓及其气力助流系统的设计

以江苏某企业的石英尾砂为研究对象,基于Jenike剪切理论,分析石英尾砂的物料性质、四棱锥料仓结构对重力流卸料的影响,考虑料仓卸料口尺寸和斜锥角对料仓内物料流动状态的影响,设计石英尾砂料仓及其辅助气力助流系统,且将其应用于江苏某企业试运行。结果表明:石英尾砂的含水率在14%(质量分数)时,物料的内摩擦角最大,物料粒径越细小,物料内摩擦角越大,但达150μm时增势趋于平缓;设计的石英尾砂料仓及其辅助气力助流系统可保障物料装卸料性能和防止物料堵仓;年产2万t石英尾砂的条件下,设计的石英尾砂料仓及其辅助气力助流系统可为企业节省200万元的生产成本,且社会环境效益显著。     

片式多层陶瓷微波谐振器

介绍了片式陶瓷微波谐振器的工艺过程、谐振器的结构以及结构对谐振器参数的影响,谐振器与外电路的耦合采用耦合间隙的方法与谐振单元在同一层内实现,这种新结构既可给制备工艺带来方便,又可减少工艺所带来的误差。用多层陶瓷工艺技术,用高介电常数、低温烧结微波陶瓷实现了中心频率为1GHz,有载品质因数大于80的试验双端口多层微波谐振器。微波谐振器体积小,整个谐振器的尺寸为7mm×2mm×1mm,适用于表面贴装技术。     

基于谐振原理的硅微机械加速度计

基于力学振动原理 ,导出敏感梁类谐振振动的微分方程 ,给出了振梁型加速度计的设计原理。指出了加速度计谐振梁频率的相对变化量与梁的厚度无关 ;为避免输出非线性频率信号 ,频率的相对变化率和激励振动的振幅都不宜太大     

如何用硅振荡器替代晶体和陶瓷谐振器

对于绝大多数微控制器时钟电路而言，硅振荡器是一种简单且有效的解决方案。与晶体和陶瓷谐振器不同，基于硅材料的定时器具有抗振动、抗撞击和抗电磁干扰的优点。同时，硅振荡器不需要严格匹配的定时元件和线路板走线。     

硅微机械梳齿静电谐振器的建模与分析

基于参数化的计算机辅助设计（CAD）软件，对硅微机械梳齿静电谐振器进行了实体建模，以有限元分析软件为工具，进行了谐振器的模态分析，静态分析和谐响应分析，初步揭示了谐振器的静、动态特性，有助于改善设计效率和质量，展示了计算机辅助工程（CAE）技术在微机电系统（MEMS）研究中的重要作用。     

石英晶体元件采用国际标准的研究

本文概述了石英晶体元件采用国际标准的情况，简要分析了IEC1178：IECQ石英晶体元件规范，根据我国压电行业标准化实际情况，提出了进一步开展采用国际标准工作的意义。     

石英摆片导带“断裂”故障分析

叙述了真空蒸发金属膜的形成过程和膜层结构，运用金属原子迁移理论分析了挠性力平衡力速度传感器石英摆片导带“断裂”故障，提出了增强可靠性的技术途径。