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使用光强标定的发射光谱(AOES)测量了CHF3/C6H6混合气体的微波电子回旋共振(ECR)放电等离子体中基团的分布状态。实验发现随着CHF3流量的增加,成膜基团CF、CF2、CH等的相对密度增大,而刻蚀基团F的密度也会增加,从而使得a—C:F薄膜的沉积速率降低。同时红外吸收谱(IR)分析表明,在高CHF3流量下沉积的a—C:F薄膜中含有更高的C—F键成分。可见在a—C:F薄膜的制备中CHF3/(CHF3 C6H6)流量比是重要的控制参量。 相似文献
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关于粒子加速器人身辐射安全联锁系统设计原则的建议 总被引:2,自引:2,他引:0
本文讨论了在粒子加速器上的联锁系统设计中应遵循的一些原则,其中建立隔离区、“失效导致安全(Fail-safe)”,使用“硬件”、“多重联锁”、设置急停开关等是最重要的。 相似文献
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杨建平 《卫星电视与宽带多媒体》2007,(14):37-42
2003年春,我没去北京参加读者联谊会,为的是应付一单非常棘手的BS大天线工程。按我的习惯,前前后后的整个过程,都叙述在笔记里,记录在相机中。这些工程日记,已经尘封太久了。今天再次翻开来读,往事依然历历在目。我挑选了其中的一部分,没做什么修改,只是重新配置了图片,并对文中涉及到的人名,作了必要的处理。关于9米网状Ku天线的原理和结构,一直被业内人士怀疑,至今没有得到应有的待遇。在本文中,有关9米网状Ku天线技术方面的探讨,并不是很多。有兴趣的读者,可以翻翻7年前本刊相关的文章,早有详细的介绍。 相似文献