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1.
使用光强标定的发射光谱(AOES)测量了CHF3/C6H6混合气体的微波电子回旋共振(ECR)放电等离子体中基团的分布状态。实验发现随着CHF3流量的增加,成膜基团CF、CF2、CH等的相对密度增大,而刻蚀基团F的密度也会增加,从而使得a—C:F薄膜的沉积速率降低。同时红外吸收谱(IR)分析表明,在高CHF3流量下沉积的a—C:F薄膜中含有更高的C—F键成分。可见在a—C:F薄膜的制备中CHF3/(CHF3 C6H6)流量比是重要的控制参量。 相似文献
2.
利用发射光谱诊断技术研究了磁增强反应离子刻蚀系统中CF4+O2的辐射谱、谱线成分及强度,分析了谱线强度与射频福射功率、氧气含量的关系,并与没有磁场存在时的情况作了比较。 相似文献
3.
4.
5.
ICP-AES法测定封严涂层中BN含量 总被引:1,自引:0,他引:1
利用IC-AES法测定了封严涂层的BN,并对样品的溶解方法,仪器工作参数,光谱干扰等进行了研究。方法的相对标准偏差<2%(n=10),加标回收率在95%以上,方法简便,可靠,结果令人满意。 相似文献
6.
7.
评述了射频辉光放电发射光谱中的两种新的测量方法:调幅技术和偏置电流导电技术。这两种方法在分析薄膜试样时非常有效。应用调幅技术时,辉光放电电压以低频进行调制,在发射信号周期性变化的同时,溅射率降低。尽管随脉冲数的减少发射强度降低,但发射强度能用选频放大器选择性地进行检测,从而能获得较好的信噪比。在偏置电流导电技术中,直流偏置电流被导入由低通滤波器和负载电阻组成的辉光放电灯电路中,偏置电流将大量电子引入等离子体中,从而导致等离子体区域发射强度的增强,而同时由于偏置电流的减少而使得溅射率降低。这两种技术有利于改进辉光放电发射光谱的深度信息分析。 相似文献
8.
SONGXuwen LUYiqiang CAOYanqiu WANGLihua XINRenxuan 《稀有金属(英文版)》2002,21(1):20-23
The procedure of nebulization was studied with the introduction of ethanol into a lower power argon ICE It was found that as ethanol introduced, the physical properties of solutions changed, which results in an improvement on the nebulization efficiency. An empirical relationship between the concentration of the aerosol and the solution properties ( viscosity, density, and surface tension) is presented. 相似文献
9.