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《固体电子学研究与进展》2015,(6)
针对纳米级工艺多指栅MOS晶体管的不同版图结构及其阈值波动的相关特性进行分析和研究。通过将基于Fujitsu 90nm工艺的三种不同版图结构实现的N型多指栅MOSFET器件阈值电压VTH作为工艺波动的研究对象,运用多元非线性回归算法对测试芯片进行系统工艺波动与随机工艺波动的提取和分析,并对与尺寸、版图结构相关的随机工艺波动特性进行了评估。测试结果表明三种版图结构中有源区共有结构具有最佳的电流驱动特性,有源区隔离结构抑制系统波动能力最优,折叠栅结构具有同尺寸器件较低的阈值电压并可以最有效地抑制随机工艺波动。 相似文献
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新型的芯片间互连用CMOS/BiCMOS驱动器 总被引:5,自引:2,他引:3
从改善不同类型 IC芯片之间的电平匹配和驱动能力出发 ,设计了几例芯片间接口 (互连 )用 CMOS/Bi CMOS驱动电路 ,并提出了采用 0 .5 μm Bi CMOS工艺 ,制备所设计驱动器的技术要点和元器件参数。实验结果表明所设计驱动器既具有双极型电路快速、大电流驱动能力的特点 ,又具备 CMOS电路低压、低功耗的长处 ,因而它们特别适用于低电源电压、低功耗高速数字通信电路和信息处理系统。 相似文献
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高纯硼烷中杂质的低温气相色谱分析 总被引:2,自引:2,他引:0
用低温色谱法解决硼烷的分解问题,使硼烷中氢的分析成为可能,该法又能消除硼烷和四硼烷(B4H10)对氧、氮和甲烷峰测定的干扰,此方法的建立使硼烷的标准制定成为可能。 相似文献
7.
浅谈高纯氮气中微量CO、CH4、C02的测定 总被引:1,自引:0,他引:1
气相色谱法是快速、准确、灵敏的分析高纯氮气中微量CO、CH4、C02最有效方法。此方法采用化学转化法使CO、CO2和H2在镍催化剂作用下转化为CH4,然后经过高灵敏度FID检测器检测,外标峰高(或面积)进行定量。其最低检测浓度为1PPM。 相似文献
8.
一种负载型氮氧化物净化催化剂及制备属于多相催化技术及其环境保护领域,其特征在于是一种在HZSM-5上负载有含钼和铜双金属氧化物的专门用于柴油车及稀燃汽油机车尾气氮氧化物净化的催化剂,分子表达式为:Cu—Mo/ZSM-5。本发明具有以下优点:1)首创性。Cu—Mo/ZSM-5作为一种新型的用于柴油车及稀燃汽油机车尾气中氮氧化物净化催化剂,尚未见文献和专利报道,2)高活性。在空速为60000~80000h^-1等接近实用条件下,多次对不同Cu/Mo比样品的催化活性进行测试, 相似文献
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