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Abrasive jet micro-machining (AJM) uses compressed air carrying abrasive solid particles to micro-machine a variety of features into surfaces. If the feature sizes are less than the size of the abrasive jet footprint, then a patterned erosion-resistant mask is used to protect the substrate material, leaving exposed areas to define the features. Previous investigations have revealed a ‘blast lag’ phenomenon in which, for the same dose of abrasive particles, narrower mask openings lead to channels that are shallower than wider ones. Blast lag occurs when using AJM on brittle substrates because of the natural tendency to rapidly form a V-shaped cross-sectional profile which inhibits abrasive particle strikes on the narrow vertex at the feature centerline. In this paper, the blast lag phenomenon is studied when using AJM to machine a network of microfluidic channels. It is found that, in some cases, differences in blast lag occurring at channel intersections and within the channels themselves, can lead to channel networks of nonuniform depth. A previously developed surface evolution model is adapted to allow prediction of the onset of blast lag in the channels and intersections and thus explain these differences. Finally, methods to eliminate the differences are discussed. 相似文献
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光学材料的激光微加工研究进展与应用前景 总被引:2,自引:1,他引:1
综述了国内外在光学材料激光微加工方面的研究成果和应用状况,并展望了其发展前景。 相似文献
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结合工程工作面概况,就锚索和锚杆补强加固支护参数的选择进行了介绍,并指出锚索、锚杆的联合支护,保证了顶板的完整性,有效地控制了巷道的变形。 相似文献
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