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该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
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三维异质异构集成技术是实现电子信息系统向着微型化、高效能、高整合、低功耗及低成本方向发展的最重要方法,也是决定信息化平台中微电子和微纳系统领域未来发展的一项核心高技术。文章详细介绍了毫米波频段三维异质异构集成技术的优势、近年来的发展趋势以及面临的挑战。利用硅基MEMS 光敏复合薄膜多层布线工艺可实现异质芯片的低损耗互连,同时三维集成高性能封装滤波器、高辐射效率封装天线等无源元件,还能很好地处理布线间的电磁兼容和芯片间的屏蔽问题。最后介绍了一款新型毫米波三维异质异构集成雷达及其在远距离生命体征探测方面的应用。 相似文献
4.
为解决体育建筑的确定性与需求变化的矛盾,提高体育建筑的适应能力,结合某大型游泳馆改建工程,对原有建筑的功能提升和结构改建施工技术进行了研究。通过对既有建筑改造中涉及的结构扩建、抗震加固、抗渗修补、屋面翻新等内容进行阐述,总结了一套成功的技术经验,可为类似工程提供参考。 相似文献
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6.
为了研究聚酰亚胺薄膜在308nm准分子激光下的剥离效果, 采用实验研究的方法, 分别探究了激光能量密度、光斑重叠率、脉冲频率、衬底温度对激光剥离效果的影响, 并结合显微镜观察剥离后的衬底和薄膜形貌。结果表明, 激光剥离能量阈值约为160mJ/cm2, 在激光能量密度为180mJ/cm2~190mJ/cm2左右、光斑重叠率为68.33%时, 剥离效果较好; 提高衬底温度有利于激光剥离过程。该研究对聚酰亚胺薄膜在柔性电子领域的工业化应用具有一定意义。 相似文献
7.
《Planning》2015,(5)
目的探讨贵阳市大气污染对小学生肺功能和局部非特异性免疫功能的影响。方法采用整群抽样的方法选择贵阳市污染区、相对清洁区小学的8~10岁小学生共530名进行肺功能指标[用力肺活量(FVC)、一秒用力呼气量(FEV1.0)、最大呼气中段流速(MMEF)、呼气峰值流速(PEF)、每分钟最大通气量(MVV)]和局部非特异性免疫功能指标(唾液溶菌酶)的测定。结果污染区8岁组小学生的FVC、EFV1.0低于相对清洁区(P<0.05);污染区9岁组小学生的FVC、PEF低于相对清洁区(P<0.05);污染区10岁组小学生的FVC、FEV1.0、MMEF、PEF、MVV低于相对清洁区(P<0.05);污染区9岁组小学生的唾液溶菌酶含量低于相对清洁区(P<0.05)。小学生肺功能指标与年龄、性别、身高呈密切正相关,局部非特异性免疫功能指标与年龄呈密切正相关。结论大气污染对小学生肺功能和局部非特异性免疫功能造成一定的影响,需注重大气污染的防控工作。 相似文献
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