掺钪AlN材料特性及HBAR器件性能研究

该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e₃₃增加、刚度 下降,导致Al₁-_xSc_xN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al₁-_xSc_xN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。     

毫米波三维异质异构集成技术的进展与应用

三维异质异构集成技术是实现电子信息系统向着微型化、高效能、高整合、低功耗及低成本方向发展的最重要方法,也是决定信息化平台中微电子和微纳系统领域未来发展的一项核心高技术。文章详细介绍了毫米波频段三维异质异构集成技术的优势、近年来的发展趋势以及面临的挑战。利用硅基MEMS 光敏复合薄膜多层布线工艺可实现异质芯片的低损耗互连,同时三维集成高性能封装滤波器、高辐射效率封装天线等无源元件,还能很好地处理布线间的电磁兼容和芯片间的屏蔽问题。最后介绍了一款新型毫米波三维异质异构集成雷达及其在远距离生命体征探测方面的应用。     

308nm准分子激光剥离聚酰亚胺薄膜实验研究

为了研究聚酰亚胺薄膜在308nm准分子激光下的剥离效果, 采用实验研究的方法, 分别探究了激光能量密度、光斑重叠率、脉冲频率、衬底温度对激光剥离效果的影响, 并结合显微镜观察剥离后的衬底和薄膜形貌。结果表明, 激光剥离能量阈值约为160mJ/cm2, 在激光能量密度为180mJ/cm2~190mJ/cm2左右、光斑重叠率为68.33%时, 剥离效果较好; 提高衬底温度有利于激光剥离过程。该研究对聚酰亚胺薄膜在柔性电子领域的工业化应用具有一定意义。     

水泥窑分级燃烧脱硝技术优化效果分析

<正>1前言水泥窑分级燃烧减排NOx技术是通过对窑尾分解炉的温度场、流场和化学反应及分解炉结构、煤粉分级燃烧等的综合研究,实现降低NOx排放浓度的有效方法。其减排效率可以达到30%左右,5000t/d水泥熟料生产线年减排NOx量可达到1100t左右。减少污染物排放可获得显著的环境效益,同时优化回转窑的运行条件(减少煅烧系统引入干扰),降低企业生产运行成本(可大量减少额外的非碳系还原剂的使用)。     

兰精恢复在中国的生产能力

兰精公司于2020年2月24日宣布,在中国南京的生产线暂时减产之后,现已经增加了所有生产线的运作,以达到全部产能。之前生产受到原材料供应短缺的影响,是由于为控制新冠病毒而实施的严格的运输控制造成的。两条生产线的产量短时间内都缩减了。兰精补充说,在成功恢复向生产设施提供所需的供应后,现在所有的生产线都已全面恢复生产。     

100kt/a硫化钡黑灰改造生产线设计

陕西安康江华化工公司100kt/a硫化钡黑灰改造生产线由中材国际工程股份有限公司设计并提供技术支撑,该项目应用了水泥行业成熟先进的大型窑炉技术、原料预均化技术、燃煤细粉制备技术、粉尘治理及中央集控等技术,实现了多个突破,自投产多年以来产量稳定在100kt/a以上,设备运转率达到了95%,各项设计指标均优于设计指标,真正实现了优质、高产、低耗的稳定生产运行。