热法磷酸的发展趋势与研究方向

简述了工业制磷酸的生产方法和热法磷酸生产工艺的发展,分析了热法磷酸今后的发展方向,提出了热法磷酸燃烧塔结膜物的研究课题。     

三氯氧磷制备电子级磷酸

电子级磷酸是磷化工精细化发展的主要产品之一。近年来,国内许多高校、研究机构和企业都投入了很多力量进行研究。用工业三氯氧磷作原料,进行一系列的提纯工艺,先制备高纯三氯氧磷,再水解制得电子级磷酸,完全可以满足硅片的清洗、集成电路蚀刻等要求高的工序。     

高纯黄磷与电子级磷酸制备技术进展

介绍近几年我国在高纯黄磷和电子级磷酸生产与研究方面取得的进展。特别介绍多技术耦合开发的电子级磷酸制备技术、较多采用的结晶熔融法提纯技术和设备等以及在相关配套技术方面的进展。提出今后对BV-Ⅱ级以上电子级磷酸的需求将增加,磷化工行业需加快发展。     

电子级磷酸中痕量硫酸根的测定方法

研究了电子级磷酸中痕量硫酸根的分光光度测定法.实验结果表明,在波长为460 nm处,硫酸根含量与吸光度成良好的线性关系;随着磷酸取样量的增加,吸光度达到稳定值所需的时间相应增加,稳定后磷酸取样量与硫酸根含量成良好线性关系,因此实验过程中可通过调整磷酸的取样量来调节硫酸根含量,使之在标准曲线的测定范围内.实验可测定的硫酸根的质量浓度范围为2～12 μg/mL,硫酸根质量分数范围为(8～300)×10-6.还研究了稳定剂对吸光度的影响,测定了硫酸根的回收率,验证了实验方法的可靠性.     

以湿法工业级磷酸生产电子级磷酸的脱砷技术

随着半导体芯片制造业和 LCD制造业向我国转移,我国将逐步成为全球较大的LCD产业基地,国内电子级磷酸的需求量将日益增长。本文对湿法磷酸生产电子级磷酸脱砷技术进行了简述。     

华翎磷酸盐技术开发中心研究开发电子级磷酸获得成功

近年由于IT工业和液晶显示电视迅速发展,用于半导体、液晶显示器及其它电子设备作蚀刻剂的电子级磷酸需求增长强劲,华翎磷酸盐技术开发中心在2003年获得外商的信息后,即开展了电子级磷酸的研发工作,自2004年3月起在贵州省宏福实业开发总公司的支持下,经一年的努力,开发了具有自主知识产权的“EDM”法电子级磷酸生产技术,已做出符合国外半导体工业用标准(CAS编号7446-38-2,EG/EC编号,MDL编号)和液晶显示面板处理用标准的电子级磷酸,并与国外样品进行了对比。该技术与现行高纯磷法和三氯氧磷精馏法制电子级磷酸比,投资少,安全性好,产品…     

电子级磷酸的制备工艺与应用研究进展

电子级磷酸是大规模集成电路（IC）、薄膜液晶显示器（TFT-LCD）、半导体等微电子工业必用的清洗剂和蚀刻剂。本文在探讨了电子级磷酸制备工艺基础上,对电子级磷酸的质量标准与检测方法予以综述,并对其应用前景予以展望。     

电渗析法制电子级高纯磷酸

综述电子级磷酸的应用领域和国内外发展现状,阐述制备高纯磷酸的一些方法,提出采用电渗析法制电子级高纯磷酸,并将试验产品与相关标准进行对照,说明采用电渗析法生产电子级高纯磷酸是可行的：     

电感耦合等离子体发射光谱法同时测定电子级磷酸中14种杂质元素

磷酸样品直接稀释20倍后,用光谱纯试剂磷酸进行基体匹配,用电感耦合等离子体发射光谱法测定溶液中待测元素特征谱线的强度.建立电感耦合等离子体发射光谱法同时测定电子级磷酸中的钙、钾、镁、铁、锌、铅、砷、铬、铜、锰、钠、铝、钴、锑的方法.研究结果显示.该法测定精度高,各元素的相对标准偏差(RSD,n=11)均<2.0%,加标...     

高纯黄磷与电子级磷酸制备方法

随着半导体芯片制造业和LCD制造业向我国转移,高纯磷和电子级磷酸的需求量日益增长,它们已成为我国精细磷化工开发的重点产品。介绍了近年开发的区域熔融、电磁净化法净化工业黄磷制高纯磷,以及熔融结晶法、膜分离法净化工业磷酸制备电子级磷酸等技术。