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2.
该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
3.
三维异质异构集成技术是实现电子信息系统向着微型化、高效能、高整合、低功耗及低成本方向发展的最重要方法,也是决定信息化平台中微电子和微纳系统领域未来发展的一项核心高技术。文章详细介绍了毫米波频段三维异质异构集成技术的优势、近年来的发展趋势以及面临的挑战。利用硅基MEMS 光敏复合薄膜多层布线工艺可实现异质芯片的低损耗互连,同时三维集成高性能封装滤波器、高辐射效率封装天线等无源元件,还能很好地处理布线间的电磁兼容和芯片间的屏蔽问题。最后介绍了一款新型毫米波三维异质异构集成雷达及其在远距离生命体征探测方面的应用。 相似文献
4.
为了研究聚酰亚胺薄膜在308nm准分子激光下的剥离效果, 采用实验研究的方法, 分别探究了激光能量密度、光斑重叠率、脉冲频率、衬底温度对激光剥离效果的影响, 并结合显微镜观察剥离后的衬底和薄膜形貌。结果表明, 激光剥离能量阈值约为160mJ/cm2, 在激光能量密度为180mJ/cm2~190mJ/cm2左右、光斑重叠率为68.33%时, 剥离效果较好; 提高衬底温度有利于激光剥离过程。该研究对聚酰亚胺薄膜在柔性电子领域的工业化应用具有一定意义。 相似文献
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7.
客户在现场喷涂水性涂料时经常会遇到一些涂膜外观不良的问题,其中很多问题是由于底材润湿不佳造成的流平不良所致。为了减少乃至消除这些问题,需要在配方设计时选择适合该体系的水性表面控制助剂。从表面控制助剂的消泡和抑泡性、扩散性,以及流平润湿性方面入手,筛选适合水性配方的最优助剂组合。 相似文献
8.
建立了采用HCl-HNO3体系消解试样,聚氨酯泡塑分离富集,硫脲解脱,火焰原子吸收法进行测定矿石中金含量的方法。实验对矿石中金的吸附方式进行了优化,利用聚氨酯泡塑分离富集矿石中的金,并对富集了金的聚氨酯泡塑进行不同浓度硫脲解脱液试验,得到了矿石金在实验过程中的最佳硫脲解脱液浓度,通过对该条件下方法的检出限、精密度、加标回收率进行试验,所得到的测试结果均满足规范要求。该方法具有前处理简单、污染小、检出限低、精密度和准确度较好等优点,适用于大批量地球化学样品中金的分析测试。 相似文献
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