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本文针对金刚刀划片崩缺问题,对比双刀划片和单刀划片试验,分析了崩缺产生的原因,提出了窄划片槽晶圆金刚刀划片崩缺问题的应对方案。金刚刀划片采用双刀划片降低崩缺风险优于单刀划片工艺,双刀划片刀宽度越窄有利于降低崩缺,第一刀切深1/3厚度有利于降低崩缺风险。 相似文献
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浅淡胶辊磨床金刚刀与砂轮的修整 总被引:1,自引:1,他引:0
严格控制磨砺后胶辊表面粗糙度Ra值,应经常用金刚刀修整砂轮工作面,使之锋利圆整,并介绍了金刚刀使用方法及注意事项。 相似文献
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为提高生产效率,降低人工劳动强度,在对比砂轮划片和金刚刀划片2种工艺方法优缺点的基础上,采用晶圆贴膜金刚刀划片的工艺方法,通过控制划片工艺过程各工艺参数,实现铌酸锂单晶的划片.该方法不但改善了划片的质量,而且提高了划片成品率.经批量生产实践证明,晶圆贴膜金刚刀划片工艺是可行的;对生产企业而言,可以在不购买其他设备的基础上,提高生产效率和划片成品率. 相似文献
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