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1.
2.
3.
本文提出了一个圆片规模布局算法,它是国外一个相应算法的改进形式,区别在于利用力定向布局法的方式不同。在相对位置阶段,该算法利用布局的层次特性将需确定所有电路元件相对位置的问题缩减至仅需确定宏电路元件相对位置的问题;在实际位置阶段,采用分治策略和取消前阶段层次划分的方式回避了需确定任意元实际位置的问题.其时间复杂度远低于国外相应算法. 相似文献
4.
GaAs亚微米自对准工艺技术研究 总被引:2,自引:2,他引:0
总结了在50mmGaAs圆片上实现自对准介质膜隔离等平面工艺技术的研究,着重描述了离子注入、自对准亚微米难熔栅制备、钝化介质膜生长、干法刻蚀、电阻和电容制备等关键工艺的研究结果。这套工艺的均匀性、重复性好,在50mmGaAs圆片上获得了满意的成品率。采用这套工艺已成功地研制出多种性能良好的GaAsIC和GaAs功率MESFET,证明国家自然科学基金委员会这一重大课题的选择对发展我国GaAsIC确实具有重大意义。 相似文献
5.
本文介绍了一种当前正在快速发展的微电子器件的新颖封装-圆片级封装(WLP)的定义,主要优缺点,焊盘再分布和植球等主要工艺过程等。 相似文献
6.
翁寿松 《电子工业专用设备》1992,(1)
本文论述了开发200mm圆片、0.5μm线宽半导体设备的必要性,并介绍4种适用200mm圆片、0.5μm线宽的半导体设备。 相似文献
8.
10.
本文就超细晶粒硬质合金圆片刀毛坯在两种不同生产工艺过程中常见的问题加以综述,并对圆片刀毛坯的不同生产工艺进行对比性研究,为生产高质量、高合格率的超细硬质合金产品提供了有力的依据。 相似文献