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用于超高真空的狭缝的设计与制造 总被引:2,自引:0,他引:2
本文讨论了弹性狭缝机构的特点、设计原理及加工工艺,该狭缝机构具有结构简单,精度高和优异的超高真空性能。特别适用于真空紫外单色仪的光学狭缝,其设计原理也可用于一般光学狭缝的设计。 相似文献
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