新型微光探测器激光防护材料的研究

系统分析了微光夜视器的结构及其原理，并结合当前器件存在的激光致盲威胁，提出了增强系统安全的新措施。同时，系统地介绍了防激光滤光材料一些重要的性能参数以及滤光材料的组成、制备加工工艺。研究结果表明，新型的防激光材料能够有效地防护800nm，900nm以及10613nm等三个波长的激光，并且可见光透过率大于85％。     

光盘用光学头物镜性能的综合评估

论述了采用波象差均方根、点扩展函数、光学传递函数对高次旋转对称非球面光学头物镜性能进行综合评估的方法。作者在正则坐标理论基础〔１〕上编制了光学头物镜性能综合评估软件。给出了评估实例。     

激光对望远系统损伤的研究

本文对激光光束通过望远系统后光束的变化进行了分析，并对６倍望远镜进行了激光损伤和破坏的实验研究，实验结果表明，激光对望远系统的损伤破坏主要是热效应所致，损伤破坏的情况与激光的能量，波长，脉冲宽度和望远系统的结构有关。     

光刻投影物镜畸变检测中的位移测量误差分析

在光刻投影物镜的畸变检测中,位移测量误差是光刻投影物镜畸变检测的重要误差源之一,深度分析误差源并减小误差项,可提高光刻投影物镜的畸变检测精度。本文将运动台的定位与测量技术相结合,着重分析利用夏克-哈特曼波前传感器对投影物镜进行畸变检测时像质检测台的位移测量误差。并以一套投影物镜像质检测台为例,对其在投影物镜畸变检测中的位移测量误差进行分析,利用该像质检测台对某一投影物镜进行畸变检测,畸变检测结果约80 nm,其中该像质检测台的位移测量误差会给畸变检测结果带来约22 nm的不确定度。     

奥林巴斯:平遥的中日摄影文化交流

一年一届的平遥国际摄影大展上,奥林巴斯动作频繁,其中不仅有药师洋行、朱恩光、付欣三位摄影师的中日摄影师联展,也有田中博、朱恩光的沙龙讲座;身着晚清服饰和日本和服的模特,也引得绝大多数摄影爱好者驻足拍摄。一系列精彩活动不仅让奥林巴斯在此次平遥摄影大展上显得格外抢眼,更为此次平遥古城平添了不少国际化的氛围。     

蓝光光学头物镜的发展历史

在蓝光光盘(BD:Blu-ray Disc)读出系统中,物镜是较为核心的部件之一。蓝光物镜的研发工作,大体可以分为三个阶段。第一个阶段:双片组合物镜设计与加工以及相应的力矩器机械调整结构的研发,以索尼和飞利浦公司为代表;第二阶段:单片物镜结构设计与加工,以JVC公司为代表;第三阶段:BD与DVD兼容衍射物镜设计与加工。     

超声电机直驱的电动物镜控制方法

针对超声电机直接驱动的显微镜物镜为满足系统整体结构紧凑、快速和准确定位的需求,采用小型光电耦合器设计了位置检测传感器,配合遮挡片实现了物镜位置和物镜转换器运动方向的检测。采用传统比例-积分-微分控制(proportion-integral-derivative control,简称PID)和模糊控制提出了并行切换控制策略,将两者结合建立了宏微相融合的预测控制方法,实现了物镜转换器的高精度、快速切换控制。在嵌入式控制系统中实现了所设计的控制算法和策略,并进行了物镜自动切换控制实验。实验结果显示,采用笔者提出的定位结构和控制方法,电动物镜转换器的重复定位误差小于0.015°,定位时间小于3s,满足自动显微镜系统中对电动物镜转换器重复定位精度的要求。     

高数值孔径投影光刻物镜的光学设计

针对45nm节点投影光刻物镜的应用,开展了工作波长为193nm的深紫外浸没式高数值孔径(NA)投影光刻物镜的研究和研制。设计了数值孔径(NA)为1.30的离轴三反射镜投影光刻物镜和NA为1.35的同轴两反射镜投影光刻物镜,并对两个设计方案的优劣进行对比分析,选择了同轴式结构作为最终的设计方案。分析了系统在不同NA情况下可变光阑与其远心度之间的关系,提出了用双可变曲面光阑的设计方案来优化系统的远心度。实验表明,应用本文设计方案,光刻物镜的波像差小于1nm,畸变小于1nm;新型的可变光阑使系统NA在0.85~1.35变化时的最大远心度由5.83~17.57mrad降低至0.26~3.21mrad。本文提出的设计方案为45nm节点高数值孔径投影光刻物镜的研制提供了有益的理论依据和指导。