硅微机械梳齿静电谐振器的建模与分析

基于参数化的计算机辅助设计（CAD）软件，对硅微机械梳齿静电谐振器进行了实体建模，以有限元分析软件为工具，进行了谐振器的模态分析，静态分析和谐响应分析，初步揭示了谐振器的静、动态特性，有助于改善设计效率和质量，展示了计算机辅助工程（CAE）技术在微机电系统（MEMS）研究中的重要作用。     

自动扶梯电气安全保护装置简介

以《自动扶梯和自动人行道的制造与安全规范》（GB16899－1997）有关条款为依据，介绍自动扶梯必须的各电气安全保护装置的作用与特点。     

基于微位移定位系统MEMS梳齿位移传感器的研究

MEMS硫齿位移传感器是一种基于MEMS技术电容理论的传感器,具有体积小、重量轻、性能稳定、功耗低和易于集成等特点.首先探讨了梳齿传感器的工作原理,随后介绍了使用梳齿传感器有效检测微动工作台位移的方法,并进行了结构失效和梳齿电极不平行失效的可靠性分析.通过采用这种传感器可以达到提高微位移定位平台系统的集成度、精度、分辨...     

基于MEMS电容式加速度计的闭环读出电路设计

设计了面向圆片级封装的一种闭环加速度计读出电路.在基于电容式微加速度计结构的读出电路设计中考虑了寄生电容对整个系统的影响.用MATLAB SIMULINK对所设计的读出电路进行了建模仿真.在仿真过程中分析了噪声、圆片级封装与普通封装的寄生参数及实际工艺中流水结构的不对称性的影响并进行了比较.结果表明,所设计传感器及读出电路的非线性误差在量程±20 gn范围内小于0.5％;圆片级封装的稳定时间在2 ms,小于普通封装的稳定时间;基于圆片级封装的对称性梳齿结构的输出电压灵敏度为328 mV/gn.     

浅谈渐开线圆柱齿轮齿顶修形梳齿刀的设计及模拟加工

本文从渐开线圆柱齿轮齿顶修形梳齿刀设计加工所应用的设计原理和理论模型情况展开分析,具体探讨了我国目前对于渐开线圆柱齿轮齿顶修形梳齿刀的设计及模拟加工实践,并对其中可能存在的不足和需要改进的地方进行指出,首先对渐开线修缘齿轮直齿梳齿刀的优化设计进行梳理,从而优化了齿轮修缘的解决办法.因此通过修形梳齿刀的齿廓来对被修削的齿轮齿廓进行修形,对于大大改善齿轮的承载能力和传动特性以及可靠性的良好发挥有着积极的现实意义.     

中国微米纳米-----梳齿式加速度传感器敏感结构等效并联电阻对输出的影响分析

梳齿式加速度传感器敏感结构间感应电容的测量会受到结构间等效电路参数的影响。多层瓷片电容的结构与梳齿式加速度传感器敏感结构类似。本文类比多层瓷片电容中等效电路参数的研究,分析了梳齿式加速度传感器敏感结构间等效电路参数对感应电容测试结果产生的影响。     

一种新型微机械陀螺仪结构方案设计与仿真

为了解决微机械陀螺仪驱动和检测模态耦合的问题,提出了一种新型的双质量块双线振动结构方案。根据微陀螺的结构和工作原理,对其驱动和检测模态进行了理论分析,给出了简化的动力学方程,并利ANSYS有限元分析软件进行了数值仿真,以验证设计思想的正确性。     

基于垂直扭转梳齿驱动结构的硅微机械扭转微镜的设计加工与表征

为了改善扭转微镜的机电耦合特性和光学特性,提出了一种新的基于SOI硅片的垂直扭转梳齿静电驱动结构．通过有限元与边界元方法,对不同厚度扭转梁的机电耦合特性进行了数值模拟,得到了相应的阈值电压和吸合电压,并提出了几种新的折叠梁结构,以进一步改善器件的机电耦合特性;通过力学分析,从理论上推导了垂直扭转梳齿静电驱动方式微镜的最大扭转角度、阈值电压、扭转刚度以及固有频率,获得了结构参数对器件机电耦合特性的影响机制;最后,利用比例散射理论讨论了表面粗糙度、入射光束波长和入射角度等参数对微镜表面光学反射性能的影响,并利用原子力显微镜测量了微镜的表面粗糙度,理论模拟与实验研究表明,基于SOI硅片和垂直扭转梳齿结构的硅微机械扭转微镜可显著降低器件的驱动电压,提高器件的机电耦合特性和微镜表面的光学反射特性．     

高转差率异步电动机梳齿形导条铸铝转子压轴工艺

在油田使用的高转差率异步电动机梳齿形导条铸铝转子,转子导条沿轴向截面很细小,其压轴工艺有别于普通铸铝转子的压轴工艺.本文分析了实际生产中梳齿形导条铸铝转子的压轴工艺.     

蜂窝式汽封在110 MW汽轮机通流技术改造中的应用

北京高井热电厂1、2号机组通流技术改造中,低压通流部分应用了蜂窝式汽封.通过改造解决了低压前后轴封漏汽掉真空问题,增强叶顶汽封的去湿效果,提高了机组运行的经济性和安全性.