二元光栅照明研究

采用部分相干成象理论对二元光机照明进行了较为详细的研究。分析了二元光栅照明对分辨力，焦，照明能量和照明均匀性的影响，并通过实验研究验证了二元光栅对分辨力和焦深有较大程度的提高，同时能量损失不大。     

半球形和超半球形固体浸没透镜光场分布比较

考虑了在固体浸没透镜(SIL)的球面表面的反射,应用矢量衍射理论比较分析了半球形固体浸没透镜(h-SIL)和等光程的超半球形固体浸没透镜(s-SIL)的透射场分布。h-SIL和s-SIL的分辨力、焦深、聚焦强度和随波长的色散被详细比较。计算结果发现:当它们被包围在空气中时,s-SIL的分辨力比h-SIL的大n倍以上(n是SIL的折射率);s-SIL的聚焦强度比h-SIL的大,但它的焦深比较小。s-SIL的横向色散率远大于h-SIL的,但h-SIL的轴向色散率与s-SIL的几乎相等。h-SIL的横向色散很小,可以忽略不计。     

基于焦深扩展的图像融合算法研究及其实现

针对显微图像清晰度小于人眼通过目镜和物镜观察到的图像清晰度的问题,提出了焦深扩展图像这一概念,即在物体聚焦范围内按照某一选定的步距采集多幅图像,使用图像融合技术对图像序列进行计算得到的图像;探讨了两种图像融合算法对显微图像序列进行实时焦深扩展,有效地提高清晰度和增强立体感;通过图像信息量统计方法,并针对这两种算法的特点进行了实验分析.     

用于内窥光学相干层析成像探头的小型化及焦深拓展技术

小型化探头是内窥光学相干层析成像(Optical coherence tomography,OCT)中的普遍需求。介绍了包括基于球透镜、光纤透镜、自聚焦光纤、自由曲面透镜、无透镜的OCT技术的发展历程,总结和比较了各种技术的优劣,为探头的小型化设计提出了建议。研究探头的焦深拓展技术对分辨人体内细胞的在体成像的发展具有重要意义。介绍了几种重要的适用于小型化探头的焦深拓展技术,其中基于模式干涉的探头由于易于制作、结构紧凑、传输效率高,同时具有可以优化工作距离、焦深和轴向光强均匀性的优点,在拓展小型化探头的焦深方面具有一定的发展潜力。     

基于光学对准的光刻机投影物镜密集线焦深原位检测技术

提出了一种检测光刻机投影物镜密集线焦深(DOF)的新技术。该技术将具有精细结构的测量标记曝光在硅片上,硅片显影后,由光学对准系统获取曝光在硅片上的测量标记图形的对准位置信息,根据对准位置信息计算得到视场中各点的焦深。与传统的FEM焦深测试技术相比,该技术具有测量精度高、速度快、成本低、操作简单等优点,在光刻工艺参数优化及光刻设备性能评价等方面有很好的应用前景。     

实时全焦距成像系统

本文介绍全焦距成像技术，介绍焦深理论，快速全焦距透镜，快速成像和处理电路，最后介绍全焦距成像的应用。     

投影光刻中焦深问题的研究与分析

聚焦对投影光刻系统（如步进机）的影响是了解及控制光刻工艺的关键因素。随着特征尺寸的减小，它对聚焦误差的灵敏度迅速升高。因此，许多人认为聚焦灵敏度是光学光刻进入更小特征尺寸的主要障碍。本文将对焦深的定义作以定量的分析     

CCD靶面与安装定位面夹角误差的光学检测方法

随着大尺寸面阵CCD需求增多,一些新研制的CCD产品中靶面与机械安装定位面有较大夹角误差问题,而CCD产品技术说明中不给出相应数据.介绍一种非接触式光学检测方法,并以实例从原理到操作方法及最后的数据处理作了详细的介绍.其作为新购置CCD产品参数的一种检测方法,避免了CCD与光学系统装调完成后图像虚实同时存在的问题.     

变形光束的优化增大了焦深

不用离轴滤波器增大焦深的新型曝光方法已研制成功，为ＫｒＦ（２４８ｎｍ）准分子激光光刻技术生产第二代６４ＭＤＲＡＭ器件增添了活力。用这种新方法制作０．３５μｍ的Ｘ、Ｙ向及斜向的图形，可使焦深增大４５％以上。对实际的０．３０μｍ规格以下的器件，用四极照明和环形照明都不可能获得线问对图形的公共焦深。对这种器件，采用新型的变形光束（ＭＢＩ）曝光方法，焦深可增大到１．１μｍ以上。