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1.
将薄膜电容真空计的测量室接于被测密闭容器,静态真空室接于一个比较容器,即组成一台压差式漏率测试仪。首先使两容器压力平衡,真空计读数为零。当被测容器存在漏孔时,真空计薄膜两侧形成压差,真空计指示读数,继而计算出该容器的漏率。应用商品真空计在抽真空测试时,检测的最小可测漏率达10-4~10-5Pa·L/s;而在充压测试时,因受气体温度变化的影响,灵敏度会降低几个量级。该仪器有可能具备寻找漏孔位置和确定漏孔漏率的功能。  相似文献   
2.
文章就热壁低压化学汽相淀积(HWLPCVD)设备使用过程中常见的故障现象及维修谈一点体会。  相似文献   
3.
王逊 《真空》1994,(2):43-52
热阴极电离真空计问答王逊(北京大学无线电电子学系)AnswersandQuestionsonHot-cathodeVacuumIonizationGauge¥WangXun(Dep.ofRadioandElectronics,BeijingUnive...  相似文献   
4.
5.
6.
介绍用磁控溅射制作的从大气往真空约覆盖5个量程的“绝对型”电容薄膜真空规,以及与该真空规配套的真空计的电路。该真空计测量范围为1.3~105Pd,真空规与电容信号检测电路置于同一金属壳内,以避免外界干扰。规的恒温胜温度波动小于±0.1℃,有效地降低了温度的影响。电路的非线性小于0.4%,高真空下北输出漂移小于0.1%,在13~105Pa各量程内,最大校准误差小于读数的4%。  相似文献   
7.
本文介绍了一种新的数字式定温热偶真空计,它具有精度高、工作可靠、结构简单、操作方便等优点。文中具体阐述了微机系统的工作原理,并提供了结构原理框图。概述了研制中的关键技术问题,即用微机软件对非线性进行补偿的方法。最后介绍了该真空计的主要算法及应用实例。  相似文献   
8.
9.
王逊 《真空》2004,41(4):47-48
介绍几种测量范围为10-8~105 Pa的常用真空计,其应用十分广泛,性能较好,价格较低.  相似文献   
10.
《钢铁》2014,(4)
正总部位于德国科隆的欧瑞康莱宝真空是一家拥有160多年专业生产经验的真空设备制造商,提供各类真空泵、真空计及检漏仪等设备;同时欧瑞康莱宝真空还是最佳真空解决方案的供应商。欧瑞康莱宝真空在全球拥有真空行业中最完善的销售和售后服务网络。目前,欧瑞康莱宝真空在世界各地拥有20多家销售公司和30多家维修中心,并在70多个国家设有代表机构。主要产品:旋片真空泵、罗茨泵、扩散泵、分子泵、低温  相似文献   
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