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1.
将薄膜电容真空计的测量室接于被测密闭容器,静态真空室接于一个比较容器,即组成一台压差式漏率测试仪。首先使两容器压力平衡,真空计读数为零。当被测容器存在漏孔时,真空计薄膜两侧形成压差,真空计指示读数,继而计算出该容器的漏率。应用商品真空计在抽真空测试时,检测的最小可测漏率达10-4~10-5Pa·L/s;而在充压测试时,因受气体温度变化的影响,灵敏度会降低几个量级。该仪器有可能具备寻找漏孔位置和确定漏孔漏率的功能。 相似文献
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热阴极电离真空计问答王逊(北京大学无线电电子学系)AnswersandQuestionsonHot-cathodeVacuumIonizationGauge¥WangXun(Dep.ofRadioandElectronics,BeijingUnive... 相似文献
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6.
介绍用磁控溅射制作的从大气往真空约覆盖5个量程的“绝对型”电容薄膜真空规,以及与该真空规配套的真空计的电路。该真空计测量范围为1.3~105Pd,真空规与电容信号检测电路置于同一金属壳内,以避免外界干扰。规的恒温胜温度波动小于±0.1℃,有效地降低了温度的影响。电路的非线性小于0.4%,高真空下北输出漂移小于0.1%,在13~105Pa各量程内,最大校准误差小于读数的4%。 相似文献
7.
本文介绍了一种新的数字式定温热偶真空计,它具有精度高、工作可靠、结构简单、操作方便等优点。文中具体阐述了微机系统的工作原理,并提供了结构原理框图。概述了研制中的关键技术问题,即用微机软件对非线性进行补偿的方法。最后介绍了该真空计的主要算法及应用实例。 相似文献
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