用临界钝化电流法和液晶法检测金属氧化物膜的缺陷率

用临界钝化电流法和液晶法，研究了不锈钢上Ｔａ２Ｏ５，ＺｒＯ２的高频溅射膜的缺陷率，建立了ＣＰＣＤ法中与薄膜有关的电流密度Ｉｆ与膜厚ｄ之间的关系式：Ｉｆ＝ｋ（１－θ）＾ｄ，利用液晶的动态散射模型建立了动态无损伤检测膜缺陷率的新方法，并证明了这两种方法的检测结果有良好的直线关系。     

直流屏电源监控与绝缘检测系统设计

基于直流屏的电源监控系统的各模块功能划分与采样通道多等特点,设计了以MSP430单片机为控制核心,CPLD扩展端口的控制系统.比较分析了几种直流系统常用的绝缘检测方法,采用乒乓式变电桥测量法,实现了接地电阻的准确在线测量.现场运行表明,控制系统具有测量精度高、测量快速、可靠性高以及成本低等优点.