MEMS材料力学性能的测试方法

介绍国内外MEMS(micro-electro-mechanical system)材料力学性能的测试方法,包括纳米压痕法、薄膜打压法、梁弯曲试验、微拉曼光谱法、单轴拉伸法等.分析各种测试方法的优缺点、基本原理和最新进展.详细介绍单轴拉伸试验方法的试验原理、特点及发展现状, 在此基础上介绍作者们在MEMS材料单轴拉伸试验方面的阶段性研究成果,包括单轴拉伸试样设计、夹具设计、加载方法及应变测量技术等.试样和夹具的设计采用有限元方法模拟不同形状参数试样的拉伸试验过程,确定试样的外形和尺寸.应变测量采用的是激光干涉应变计法(interference strain /displacement gauge, ISDG),并用所研制的微小试样拉伸试验机,成功测得多晶铜薄膜材料的应力-应变曲线.     

多晶铜微小试样的ISDG试验

介绍了新近研制的用于测量微电子机械系统(MicroelectronicMechanicalSystem,MEMS)材料机械性能的单轴拉伸试验系统。拉伸试样的厚度只有200μm,试验段宽度为300μm,用有限元法模拟拉伸试验时试样的应力分布,分析试样几何形状参数对应力分布的影响并优化设计了试样,采用激光干涉应变计法测量试样应变,得到多晶铜试样的应力应变曲线。     

基于ISDG的面向对象程序分片技术研究

程序分片是一种有效的程序分析技术,它能根据给定的分片准则从源程序中提取出所需部分进行分析,如进行程序调试、测试、程序重构分析等.程序分片技术在结构化程序中已有较广泛的应用,但对于面向对象语言程序,其研究与应用还存在一些待解决的问题. 针对面向对象语言程序,提出了一种改进后的系统依赖图:ISDG,用来更好地表示面向对象程序中的依赖关系,从而解决了对象类型参数和属性的表示问题,使分片更加准确.     

基于ISDG的面向对象程序分片技术研究

程序分片是一种有效的程序分析技术,它能根据给定的分片准则从源程序中提取出所需部分进行分析,如进行程序调试、测试、程序重构分析等。程序分片技术在结构化程序中已有较广泛的应用,但对于面向对象语言程序,其研究与应用还存在一些待解决的问题。针对面向对象语言程序,提出了一种改进后的系统依赖图：ISDG,用来更好地表示面向对象程序中的依赖关系,从而解决了对象类型参数和属性的表示问题。基于ISDG模型,提出了一种新的面向对象语言程序的分片准则,以度相应的分片算法。