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1.
基于相位反馈控制的压电微音叉扫描探针显微镜   总被引:1,自引:0,他引:1  
压电微音叉具有谐振频率稳定、品质因数高和易于实现音叉臂的振动检测等优点。利用微音叉的这些特性,将其与钨探针结合,构成了压电微音叉扫描探针显微镜(SPM)测头,可实现对微观表面的测量。该测头扫描时,压电微音叉的谐振频率被试样表面原子和钨探针尖端原子间的作用力调制。探针的谐振状态通过锁相环路(PLL)实现,微音叉测头与试样间的恒定测力及测头的Z向定位通过相位反馈控制实现。此外,测量系统可同时获得试样表面的微观轮廓图和相位图。  相似文献   
2.
压电微音叉扫描探针显微镜测头研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
压电微音叉具有良好的谐振特性,并易于实现其振动的检测。利用这些特性,与钨探针结合,构成了一种新型的表面轮廓扫描测头。该新型测头与X-Y压电工作台结合,采用与TM-AFM相同的工作原理,构成了扫描探针显微镜。介绍了压电微音叉扫描测头的构成、工作原理及主要特性,给出了所构成的扫描探针显微镜测量系统。通过实验及其结果,证明了新型测头具有高垂直分辨率、低破坏力等优点。除此之外,由于采用了有效长度大的钨探针,使大台阶微观表面的测量成为可能。  相似文献   
3.
基于HART协议的智能电气阀门定位器   总被引:1,自引:0,他引:1  
二线制智能电气阀门定位器是阀门定位器的主流发展方向。本文详细阐述了基于MSP430单片机的智能阀门定位器软硬件设计,给出了HART协议通讯的实现方法,提出了阀门定位器低功耗设计中应采取的软硬件技术措施。实际应用表明,该定位器的主要技术性能明显优于传统的阀门定位器。  相似文献   
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