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压电微音叉扫描探针显微镜测头研究 总被引:1,自引:0,他引:1
压电微音叉具有良好的谐振特性,并易于实现其振动的检测。利用这些特性,与钨探针结合,构成了一种新型的表面轮廓扫描测头。该新型测头与X-Y压电工作台结合,采用与TM-AFM相同的工作原理,构成了扫描探针显微镜。介绍了压电微音叉扫描测头的构成、工作原理及主要特性,给出了所构成的扫描探针显微镜测量系统。通过实验及其结果,证明了新型测头具有高垂直分辨率、低破坏力等优点。除此之外,由于采用了有效长度大的钨探针,使大台阶微观表面的测量成为可能。 相似文献
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