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使用光强标定的发射光谱(AOES)测量了CHF3/C6H6混合气体的微波电子回旋共振(ECR)放电等离子体中基团的分布状态。实验发现随着CHF3流量的增加,成膜基团CF、CF2、CH等的相对密度增大,而刻蚀基团F的密度也会增加,从而使得a—C:F薄膜的沉积速率降低。同时红外吸收谱(IR)分析表明,在高CHF3流量下沉积的a—C:F薄膜中含有更高的C—F键成分。可见在a—C:F薄膜的制备中CHF3/(CHF3 C6H6)流量比是重要的控制参量。 相似文献
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关于粒子加速器人身辐射安全联锁系统设计原则的建议 总被引:2,自引:2,他引:0
本文讨论了在粒子加速器上的联锁系统设计中应遵循的一些原则,其中建立隔离区、“失效导致安全(Fail-safe)”,使用“硬件”、“多重联锁”、设置急停开关等是最重要的。 相似文献
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超灵敏AMS技术中遇到的最大测量技术难题是消除来自样品中的同量异位素干扰成分。在AMS测量中,需使用多种高分辨的探测系统。为此,我们设计制造了一台Bragg探测器。Bragg探测器在一个大的能量和原子序数范围内有较好的能量和电荷分辨。该探测器是一全阻止型气体电离室,主要包括 相似文献
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利用北京大学加速器质谱装置成功地测定了一批用其它方法难以断代的古人类骨化石的年代。对现代样品的^14C测量精度可达1%,样品测量本底不大于0.006MC。 相似文献
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本控制系统硬件采用分布式网络控制,分三级对加速器进行监测和控制。硬件采用PLC和PC,软件采用CXP和C语言等编写。本系统在实现了在电子线路控制系统上实现的各项监控功能的基础上,增加了很多新功能,更因为部分硬件功能由软件来实现,使得整个系统更易于测试、生产和维护升级。 相似文献