一种MEMS工艺编辑软件的设计与实现

目前工艺仿真在MEMS CAD中的地位日趋重要,针对MEMS工艺的复杂性与多样化,该文在对工艺信息分析的基础上,采用TCl/TK语言开发了一种用于MEMS工艺流程编辑的软件.由该软件生成的工艺文件与版图文件结合,可用于器件的工艺仿真;且通过仿真结果,可验证工艺文件的合理性.     

TC1合金表面电火花沉积WC-8Co涂层界面行为

钛合金在航空、航天工业得到了广泛应用。但其耐磨性差，对磨面容易产生粘结及对微动磨损敏感等缺点，限制其应用领域的进一步扩大，实践证明，采用电火花强化技术在TCl合金表面制造WC-8Co强化层，可以有效提高TCl基体表面耐磨性能。作者研究了WC-8Co强化层的表面状态、界面行为以及相结构组成，认为TCl合金表面强化高熔点的WC-8Co材料，厚度可大于50μm；强化层与基体之间存在过渡区；强化层表面由TiC、W2C和少量W组成；强化层截面的显微硬度是基体的3倍以上。