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1.
该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
2.
3.
4.
10Hz Q 开关100mJ 小型无水冷激光器 总被引:1,自引:1,他引:0
介绍了一种重频10Hz ,Cr4 + ∶YAG被动Q 开关输出能量约100mJ 的小型无水冷固体
激光器,和无水冷激光器常用的几种结构形式,为提高器件的环境适应性,采用了角锥棱镜作为全反镜,器件在常温下输出约107mJ ,在高温+ 50 ℃环境条件下工作,激光输出112mJ ;在低温- 40 ℃环境条件下工作,激光输出103mJ 。 相似文献
5.
使用光强标定的发射光谱(AOES)测量了CHF3/C6H6混合气体的微波电子回旋共振(ECR)放电等离子体中基团的分布状态。实验发现随着CHF3流量的增加,成膜基团CF、CF2、CH等的相对密度增大,而刻蚀基团F的密度也会增加,从而使得a—C:F薄膜的沉积速率降低。同时红外吸收谱(IR)分析表明,在高CHF3流量下沉积的a—C:F薄膜中含有更高的C—F键成分。可见在a—C:F薄膜的制备中CHF3/(CHF3 C6H6)流量比是重要的控制参量。 相似文献
6.
本文以NH3-H2O系统Gibbs自由能、熵、焓和汽液相平衡的热力学模型为基础,用松弛法进行了无水氨精馏塔的模拟计算。改变无水氨采出比、回流比(直汽量)和进料板位置均影响蒸馏效果。 相似文献
7.
JIAHong-bo CHENBao-xue ZHOUJian-zhong ZHAODe-xir LUHong-liang YUANYi-fang ISOMamoru 《半导体光子学与技术》2004,10(1):21-27
Based on the measurement of dispersion characteristic and birefractive index of the fluorinated polyimide film,a statistical optimum design method is proposed and used to realize the design of 32-and 36-wavelengths optical waveguide wavelength-interleave coupler (i,e.,interleaver) with the optimization of polarization fluctuation and wavelength interval of 0.8nm at 1550nm. The largest cross coupling ratios of the two interleavers are respectively less than 1.8% and 3.5%, while the least through coupling ratios are respectively greater than 98. 2% and 96. 5%. The output differences due to polarization fluctuation are less than 1.7% and 3.2% 相似文献
8.
9.
论述了2,4-二氯氟苯合成的新方法。以对氯硝基苯为起站原料,经氟化反应、硝化反应及氯化反应制得2,4-二氯氟苯,总收率达59.0%。本合成路线工艺简单、操作安全、原料易得、成本低廉,适合于工业化生产。 相似文献
10.