激光辅助电化学放电加工微通道的特性

玻璃材料近年来被广泛应用于微电子机械系统(MEMS),对于玻璃材料的加工,电化学放电加工(ECDM)是一种被广泛运用的手段。针对目前的电化学放电加工存在热影响区和过切现象的问题,提出了一种激光辅助电化学放电加工玻璃的加工方法,阐述了其作用机理,设计了实验装置,并与传统电化学放电加工进行了微通道加工的对比实验。通过与传统电化学放电加工对比,发现激光辅助电化学放电的加工方式能明显减少放电加工过程中的热影响区和过切现象,故激光辅助有效改善了电化学放电在玻璃材料上加工微通道的质量和精度,在MEMS领域具有良好的应用前景。     

微电子机械系统技术与蓬勃发展的光纤通信

硅微机械技术是一种新兴技术，它几乎影响着每一个科学技术领域，如汽车、移动通信、航天、化学以及光波系统。目前许多工业领域期待选用微／纳电子机械系统来解决技术上的问题。概括地说，是用标准的集成电路技术实现的。用硅晶片作基底沉积多层膜系，如氮化物、多晶硅、氧化物和各种金属膜系，用制造集成电路的方法可以制造复杂的三维结构。然而，这种结构并不是集成电路，还要通过蚀刻去氧化物释放器件以生产出能运动的结构。在制作工艺上做细微的改变就能生产可运动的器件，诸如旋转齿轮、铰链、平台和柔性梁以及各种类型的电机。在光纤通信应用方面，微电子机械系统(MEMS)技术可制作各种组件，如数据调制器，可变襄减器、光开关、主动均衡器、插／分复用器、光学连接器、色散补偿器、全光开关、可调谐激光光源，有源元件和自适应光学元件。本文描述了用现有的标准制造设备制作出的光通信用的各种微电子机械光学元件。     

智能化使汽车更安全

新的特性必须更加智能,在增加价值的同时不会分散驾驶者的注意力和增加事故的风险。     

微型光电机械系统（2）

微机械、微电子技术是三微系统工程的组成部分，本刊第4期已阐述了微光学技术的发展。本文的第二部分介绍微机械和微电子集成系统的技术现状和应用前景。     

光通信用垂直腔面发射激光器的进展

垂直腔面发射激光器(VCSEL)以其优异的性能有望成为信息时代的新光源.文章介绍了用于光通信的VCSEL的开发现状.     

微电机械系统在光通信中的应用:现状和未来

随着波分复用(WDM)网络的发展，光纤通信系统现已发展成一种复杂的多波长通信系统。由于光通信容量的愈益增加，人们寄希望于创新技术去实现光通信系统的巨大潜力，而微电机械系统(MEMS)则是解决WDM网络中关键技术的最有竞争力的候选技术。其应用包括大尺寸光开关结构(如光交叉连接器件、光插／分多路传输器)和传输网络用各种类型的有源和无源光学组件(如可调谐激光器和滤波器、色散补偿装置、放大增益匀衡器、偏振控制器及其他器件)。本文讨论了光通信用MEMS技术的开发现状、希望、面临的挑战及未来发展前景。重点讨论了基于MEMS的光交叉连接器。     

MEMS技术对火控系统的影响

结合火控系统的发展趋势 ,说明了MEMS技术在火控系统中的应用 ,分析了MEMS技术在机械结构、系统性能以及体系结构等方面对火控系统的影响     

《微电子机械系统》

本书介绍了微电子机械系统（MEMS）的相关基础知识、MEMS主要工艺和器件结构等方面内容，对该领域的热点研究问题进行了探讨，主要内容分为五个部分，首先介绍MEMS的相关力学量测量方法，使读者对力学量方面的知识有详细的了解，然后介绍MEMS中的主要工艺，在此基础上，系统介绍MEMS中的传感器部分，包括传感器的原理、结构和实现方法，