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《传感器与微系统》2019,(12):5-9
研究了使用两种大气压等离子体射流(APPJ)刻蚀Parylene-C薄膜所产生刻蚀区域的形貌和成分之间的差异。两种APPJ分别由单环电极装置和双环电极装置产生。由单环电极APPJ刻蚀的Parylene-C表面是非均匀的,从刻蚀区域的中心到边缘可分为三部分:区域(I)是中心区域,此处Si衬底严重受损;区域(II)是有效的刻蚀区域;区域(III)是刻蚀边界。与单环电极APPJ相比,双环电极APPJ刻蚀的Parylene的形貌要好得多。特别是在区域(I)中,Si片受到轻微损坏。X射线光电子能谱分析(XPS)结果表明:单环电极APPJ刻蚀区域的O元素原子含量多于双环电极。此外,还研究了两种APPJ的刻蚀速率,相比于双环电极APPJ,单环电极APPJ具有较高的刻蚀速率。 相似文献
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《中国新技术新产品》2015,(8)
本文采用气相色谱/质谱/选择离子监测法测定了26个烟用水基胶中新型增塑剂(TBC、ATBC、DEDB),结果表明烟用水基胶中新型增塑剂的GC/MS测定,一方面提高了烟用水基胶的质量监控,另一方面对于烟用水基胶的质量稳定性控制具有重要意义。 相似文献
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《石油炼制与化工》2006,37(8):19-19
新疆天业集团公司与俄罗斯科学研究院新西伯利亚分院、中国科学院等离子研究所和复旦大学合作研发的从煤炭直接制取乙炔气体的等离子体裂解煤制乙炔技术项目取得进展。两套煤制乙炔试验装置已从煤炭中清洁高效地生产出了乙炔,装置运行状况良好。该技术利用等离子体炬产生的高温等离子氢和煤粉进行化学反应,产生含乙炔混合气体,经过分离和提浓,即可得到高质量乙炔。采用这种方法生产的乙炔成本低廉,清洁高效,对环境污染小。目前已在合肥建成两台世界上功率最大的2MW等离子体裂解煤制乙炔试验装置,试验中最大炬功率达到1.28MW,碳的转化率达20%,可生产乙炔1600t。 相似文献