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《传感器与微系统》2019,(12):5-9
研究了使用两种大气压等离子体射流(APPJ)刻蚀Parylene-C薄膜所产生刻蚀区域的形貌和成分之间的差异。两种APPJ分别由单环电极装置和双环电极装置产生。由单环电极APPJ刻蚀的Parylene-C表面是非均匀的,从刻蚀区域的中心到边缘可分为三部分:区域(I)是中心区域,此处Si衬底严重受损;区域(II)是有效的刻蚀区域;区域(III)是刻蚀边界。与单环电极APPJ相比,双环电极APPJ刻蚀的Parylene的形貌要好得多。特别是在区域(I)中,Si片受到轻微损坏。X射线光电子能谱分析(XPS)结果表明:单环电极APPJ刻蚀区域的O元素原子含量多于双环电极。此外,还研究了两种APPJ的刻蚀速率,相比于双环电极APPJ,单环电极APPJ具有较高的刻蚀速率。 相似文献
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油田污水中咪唑啉缓蚀剂浓度检测技术研究 总被引:5,自引:0,他引:5
研究评价了油田污水中咪唑啉缓蚀剂浓度检测的七种方法 ,其中紫外光分析法和显色反应法适合于低浓度咪唑啉缓蚀剂检测 ,且方法简便、速度快、成本低 ,检测浓度范围 2~ 5 0mg/L。 相似文献
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本文提出了数字遥测信号与模拟图象信与混合的无线电测控系统中用于捕获和跟踪带钟复合码的跟踪双环方案,分析了双环系统的捕获性能,理论分析和实验结果表明,双环系统不仅捕获时间短,而且具有强的抗干扰能力。 相似文献
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以3-碘苯甲酸为原料,在浓硫酸作用下与乙醇反应制得3-碘苯甲酸乙酯(1),再以无水乙醇为溶剂,在105℃化合物1与80%的水合肼反应8 h,制得3-碘苯甲酰肼(2)。在无水乙醇中,在90~95℃化合物2分别与4-甲基苯甲醛、2-氯苯甲醛、4-氯苯甲醛、4-羟基苯甲醛、2,4-二氯苯甲醛、4-甲氧基苯甲醛、3-硝基苯甲醛、4-硝基苯甲醛和4-二甲氨基苯甲醛反应得到相应的酰腙[3(a~i)]。最后化合物3(a~i)分别与丙酸酐脱水环化成了3-N-丙酰基-2-芳基-5-(3-碘苯基)-1,3,4-(口恶)唑啉类化合物[4(a~i)],收率分别为86.2%,70.5%, 80.1%,68.2%,62.4%,75.2%,73.2%,70.5%和63.2%。并通过元素分析,IR,1H NMR和MS对化合物4(a~i)的结构进行了表征。 相似文献