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基体温度对磁控溅射沉积ZAO薄膜性能的影响 总被引:8,自引:2,他引:6
利用中频交流磁控溅射方法 ,采用氧化锌铝陶瓷靶材 [w(ZnO) =98%、w(Al2 O3 ) =2 % ]制备了ZAO(ZnO∶Al)薄膜 ,观察了基体温度对ZAO薄膜的晶体结构、电学和光学性能的影响 ,采用X射线衍射仪对薄膜的结构进行了分析 ,采用光学分度计和电阻测试仪测量了薄膜的光学、电学特性 ,采用霍尔测试仪测量了薄膜的载流子浓度和霍尔迁移率。结果表明 :沉积薄膜时的基体温度对薄膜的结构、结晶状况、可见光透射率以及导电性有较大的影响。当基体温度为 2 5 0℃ ,Ar分压为 0 8Pa时 ,薄膜的最低电阻率为 4 6× 10 -4Ω·cm ,方块电阻为 35Ω时 ,可见光 (λ =5 5 0nm)透射率高达 92 0 %。 相似文献
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高温润滑涂层设计的系统考虑 总被引:3,自引:0,他引:3
航天、航空、核能等尖端技术迫切要求使用耐高温润滑涂层,以保护金属构件的表面,增加发动机、推进器的工作效率和输出功率,80年代国际摩擦学界根据工业和国防的需要将高温润滑涂层和耐磨材料定为摩擦学学科发展的重要研究方向之一。本文对高温润滑涂层设计中遇到的典型环境、涉及到的关键问题、未来发展的途径等问题作了阐述。 相似文献