Nikon光刻机激光步进对准系统研究

介绍了Nikon光刻机最常用的对准方式,即激光步进对准(LSA)。从基本的光学系统出发,介绍了LSA在Nikon光刻机中的作用,搜索和增强型全局对准(EGA),详细阐述了LSA的工作原理及其对工艺的影响,最后介绍了LSA对准系统的技术指标和作用。     

船用平台罗经模拟器的设计

为了在船用设备修理过程中提供可用的平台罗经信号,介绍了使用于某设备的平台罗经模拟器实现过程,该方案以单片机+FPGA+DSC模块为核心,单片机实现人机交互,FPGA实现系统逻辑控制,DSC模块生成平台罗经信号。实测表明,该方法设计简单,满足船载设备的要求,可以实现转速比为1∶36的粗精双通道罗经信号模拟。     

千兆以太网中的字节对准

千兆以太网的数据传输采用串行方式，在接收端将进行串并转换，所以数据的字节对准的问题就随之而来。本文提出并设计了一种适合于千兆以太网的字节对准电路，来解决高速数据传输过程中的字节对准问题。     

自对准双扩散MOS器件的阈值电压分析

文章提出了精确描述自对准双扩散MOS器件阀值电压的解析模型，给出了其沟道中杂质的二维分布和源结耗尽层宽度的计算方法；分析了边缘效应对氧化层电容的影响，借助电荷共事模型，建立了反映非均匀沟道中耗尽层电荷变化及其对开启电压影响的阀值电压模型；同时，借助二维仿真器，计算出自对准双扩散MOS器件的阈值电压，其值与解析值相吻合。     

热流计校准装置中热流计安装方法的改进

在对热流计自身性能校准时，被校热流计是用双面胶纸粘在主加热器上，因而造成在热流计粘上和撕下的多次操作中很容易损坏加热器。为此，作者对校准时热流计的安装方法进行了改进，改粘贴方法为对准方法，实验表明，采用对准方法后的偏差不超过0．85％，而且对主加热器没有任何损伤，大大地提高了其使用寿命与可靠性。     

一种高精度基片预对准机构

主要介绍了一种高精度基片预对准机构的设计思想、机构组成、工作原理和精度分析     

碾压混凝土坝台阶式溢洪道的水力设计

在瑞士苏黎士瑞士联邦工学院(ETH)的水力学、水文学和冰川学实验室(VAW)，对沿台阶式溢洪道所发生的典型的二相滑掠式水流进行了模型试验研究。本文对该项研究所取得的一些重要成果，以及所研制的旨在减少专门的物理模型试验研究的设计准则作了集中的阐述。     

纺丝组件漏浆原因分析

通过对纺丝组件工艺对比调试,分析了纺丝组件消耗材料对纺丝组件漏浆的影响,指出了纺丝组件漏浆的主要影响因素。     

具有初始弯曲转子振动峰值的控制方法

本文从理论上研究了控制初始弯曲引起的转子振动幅值的一种新方法。通过在与转轴初始弯曲方向成较大夹角的方向添加不平衡质量的方法 ,使转子新的不平衡方向与初始弯曲方向夹角接近 180° ,则可以减小转子在临界转速附近的振幅。无论新的不平衡参数大于或小于初始弯曲参数 ,只要新的不平衡参数不至于太大 ,则临界转速附近的振幅响应肯定会得到改善。特别是当新的不平衡参数近似等于初始弯曲参数时 ,无论转速高低 ,振幅都会大幅下降。当重力参数、外阻尼系数和内阻尼系数改变后仍有同样结论。本文援引文献 [2 ]中的实例对这种方法进行了验证 ,并给出了解决类似故障的步骤。本文的方法可用于处理生产实际中转轴初弯引起的振动问题