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1.
详细阐述了微硅加速度计的原理,根据材料力学以及结构动力学原理,分析了叉指式驱动/检测结构的动力学模型,推导了等效质量、等效阻尼、等效刚度等关键参数模型,分析了灵敏度、横向干扰等和结构参数的关系,为微硅加速度计的优化设计与改进提供了理论指导,实现了最优化设计和仿真.  相似文献   
2.
技术     
  相似文献   
3.
4.
5.
微加速度计粘附问题的研究及应用   总被引:2,自引:0,他引:2  
粘附是影响微机电系统(MEMS)可靠性的重要因素之一。针对MEMS的典型产品——微加速度计的粘附问题进行了研究,给出了2种典型的微加速度计的表征粘附特性的剥离数的表达式,并分析了将粘附条件应用于微加速度计的多学科设计优化之中,分析了其对系统结构设计产生的影响。  相似文献   
6.
7.
Jono  K 袁凤 《现代计量测试》1995,3(4):60-62,46
静电伺服型三轴硅加速度计KeijiJono1.前言加速度计在先进的汽车和机器人中获得广泛应用,但这些应用对加速度计提出了高精度、宽动态范围和频率范围的要求。目前,三种工作原理的硅加速度计已经研制成功,即压阻式、电容式和静电式。商品化的压阻加速度计频率...  相似文献   
8.
9.
高杨  周斌  何移  李君儒  何婉婧 《测控技术》2014,33(6):135-138
传统呼啦圈为实体产品,体积大,不易随身携带,使用不当有可能损害身体健康。设计了一种基于微加速度计的新型虚拟呼啦圈,能够将腰部的扭动转化为同步的LED点阵屏转动,采用带有微加速度计的信号检测模块对腰部扭动的加速度数据进行采集和预处理,处理后的数据通过射频通信方式发送给显示模块,显示模块显示相关的运动参数以及与腰部扭动同步的LED点阵屏转动,以实现一种虚拟转呼啦圈的效果。该虚拟呼啦圈具有体积小、无损健康等特点,能达到与传统呼啦圈类似的运动目的。  相似文献   
10.
针对水下运动体测速中存在的难度大、精度低等问题,提出一种基于加速度计和机械测速装置的融合测速方法。该方法实质上是一种改良的模糊自适应卡尔曼滤波,在常规卡尔曼滤波的基础上,引入了自适应参数,并通过模糊控制器对残差的监控来实时调整自适应参数。经Matlab仿真和实际试验证实:该方法可以有效地提高卡尔曼滤波器的跟踪性,并改善滤波效果,适用于通用的水下运动体测速。  相似文献   
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