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该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。 相似文献
2.
为了研究碳纤维混凝土硫酸盐冻侵蚀损伤,以川藏铁路喷射纤维混凝土工程环境为依托进行室内盐冻试验,盐冻最低、最高温度设置为(-37.12、17℃),(-32.12、12℃),(-25.12、5℃),(-20.12、0℃),硫酸盐质量分数分别为5%、7.5%、10%,纤维体积分数分别为0、0.10%、0.20%、0.24%、0.30%。通过宏观强度试验结果和微观分析可知,随着硫酸盐浓度的增加,碳纤维混凝土损伤越严重。与普通混凝土相比,碳纤维混凝土能够有效阻止开裂,其中0.3%的体积分数为最佳掺量。通过微观分析,揭示碳纤维在混凝土结构内起到类似梁的作用机制,并据此建立损伤模型。 相似文献
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热电厂煤泥掺烧机组利用吸收式热泵耦合带式干化技术,不仅可对污泥进行无害化处置,同时回收利用污泥干化及电厂焚烧余热废热,减少环境热污染,提高能源利用率. 相似文献