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国外硅单晶质量研究进展(续Ⅰ)王旗(高工),陈振,浦树德,杨晴初(西南技术物理所,成都610041)3硅金属及其它杂质3.1过渡元素的一般概况过渡元素在硅中的污染起决定作用。由于其高的固熔度,高的可动性和两性电活性而难于控制,所以,对于过渡元素的研究... 相似文献
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扎波罗热钛镁联合企业具有30余年的半导体生产历史,拥有从原料制备,单晶生长到成品加工的系统工艺,该厂生产规模较大,技术水平高,还有强大的研究开发与检验测试组织。 相似文献
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光伏发电作为新的能源来源已经被广泛采用,单晶硅光伏电池拥有高的转换效率,长期以来受高端用户的追捧。但成本问题和产能问题一直限制着单晶硅光伏产业的发展。文章阐述了限制硅单晶生产成本和产能主要因素,并通过四个连续步骤的试验改进现在通用的硅单晶生产热场系统,通过实习工业生产中在统计数据的对比证明了改进热场系统在提高产能和降低成本方面的巨大优势。 相似文献
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重掺单晶一些独有的特性,能有效解决目前集成电路面临的一些难题。对大直径重掺硅单晶生长过程中的一些工艺进行了研究,主要包括掺杂方式和拉速设定两个方面,通过实验分析,选取了适宜的掺杂方式与拉速,最终生长出外形良好,符合电阻率目标要求的单晶。 相似文献