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1.

该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e33增加、刚度 下降,导致Al1-xScxN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al1-xScxN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。  相似文献   

2.
三维异质异构集成技术是实现电子信息系统向着微型化、高效能、高整合、低功耗及低成本方向发展的最重要方法,也是决定信息化平台中微电子和微纳系统领域未来发展的一项核心高技术。文章详细介绍了毫米波频段三维异质异构集成技术的优势、近年来的发展趋势以及面临的挑战。利用硅基MEMS 光敏复合薄膜多层布线工艺可实现异质芯片的低损耗互连,同时三维集成高性能封装滤波器、高辐射效率封装天线等无源元件,还能很好地处理布线间的电磁兼容和芯片间的屏蔽问题。最后介绍了一款新型毫米波三维异质异构集成雷达及其在远距离生命体征探测方面的应用。  相似文献   
3.
4.
为了研究聚酰亚胺薄膜在308nm准分子激光下的剥离效果, 采用实验研究的方法, 分别探究了激光能量密度、光斑重叠率、脉冲频率、衬底温度对激光剥离效果的影响, 并结合显微镜观察剥离后的衬底和薄膜形貌。结果表明, 激光剥离能量阈值约为160mJ/cm2, 在激光能量密度为180mJ/cm2~190mJ/cm2左右、光斑重叠率为68.33%时, 剥离效果较好; 提高衬底温度有利于激光剥离过程。该研究对聚酰亚胺薄膜在柔性电子领域的工业化应用具有一定意义。  相似文献   
5.
6.
概念:慢行交通与慢行交通系统 “慢行交通”是相对于快速和高速交通而言的,有时也可以称为非机动化交通,一般情况下,慢行交通是出行速度不大于15 km/h的交通方式.慢行交通包括步行及非机动车交通,由于许多大城市的非机动车交通主要是自行车交通,慢行交通的主体就成为步行及自行车交通.  相似文献   
7.
自《关于加快推进公安信息系统应用日志安全审计工作的通知》(公传发〔2013〕516号)下发以来,公安业务系统的安全审计工作有了很大的进展,但在落地的过程中,也出现了一些现象值得去研究和讨论。文章在安全审计发展现状的基础上,论述了存在的问题,并针对关键问题给出具体的技术实现思路以及实现方案。  相似文献   
8.
针对多项大规模数据获取系统的研发需求,本文设计了一套基于高速接口卡PIFC实现的高性能数据汇聚方案,不仅能够完成数据汇聚和实时预处理功能,而且在硬件结构、FPGA逻辑和驱动程序设计等方面都采用了通用化设计,能够低成本应对系统的架构升级和接口扩展,并且用测试结果验证了方案的可行性,目前达到的数据率已经可以满足项目要求。  相似文献   
9.
在直线螺线管型高速电磁阀的整个运动过程中,由于铁磁材料的磁化需要一个动态过程,导致其电磁吸力随着铁磁材料的磁化而变化。为了获得一种不依赖电磁阀材料各异性的最优电压控制方法,从静态磁场出发,由电磁阀的理论静态吸力公式建立电磁阀衔铁的动力学模型,通过分析电磁阀的衔铁启动过程,上升运动过程和下落过程,得到各阶段的位移、电流随时间的变化。然后经过前面过程分析得到了采用两段梯形电压控制电磁阀的控制策略,实现了精准控制占空比的目的。  相似文献   
10.
《门窗》2019,(14)
目前,高速动车组在我国已经得到了广泛的应用,很多城镇也建设了动车站,以满足日益增长的群众出行需求。与此同时,高速动车组相关技术也处于飞速发展的过程中。因此我国更需要科学完善的高速动车组技术标准,作为我国相关技术应用与创新的理论支持。同时,标准的完善也能帮助技术人员理清技术应用与创新的思路,为我国铁路运输提供新的思路。  相似文献   
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