纳秒脉冲激光加工高反射率铝膜

为了研究基于近红外纳秒脉冲激光的高反射率金属薄膜的加工可行性以及加工效果, 采用纳秒脉冲激光对高反射率铝膜进行激光加工, 分别测量了在不同激光光斑尺寸和不同激光能量的条件下, 铝膜表面所发生的烧蚀形态变化。结果表明, 即使铝膜表面反射率高达96%, 依然能对铝膜进行激光加工; 使用较高功率激光对铝膜表面进行离焦加工(能量密度约小于1000J/mm2)的烧蚀图样比使用较低功率激光对铝膜表面进行对焦加工(能量密度约大于2000J/mm2)的烧蚀图样更加规则。相关实验结果对激光加工高反射率材料时激光参量的选择可起到一定的指导作用。     

微波电子回旋共振等离子体技术及其应用

微波电子回旋共振等离子体是淀积薄膜、微细加工和材料表面改性的一种重要手段。由于这种等离子体电离水平高,化学活性好,可以用来实现基片上薄膜的室温化学气相淀积和反应离子刻蚀,因此对于微电子学、光电子学和薄膜传感器件的发展,这种等离子体会具有重要的意义。此外,采用微波电子回旋共振等离子体原理,没有灯丝的离子源可以提高离子源的使用寿命,可以增加离子束的束流密度。可以确信,微波电子回旋共振等离子体的发展,将把离子源技术提高到一个新的水平。显然,这必将对材料表面改性工艺,包括离子注入掺杂等工艺的发展发挥作用。自从1985年以来,为了得到大容积等离子体而发展了微波电子回旋共振多磁极等离子体,这些技术在薄膜技术、微细加工以及材料表面改性中的应用前景是乐观的。我们将在本文中,介绍微波电子回旋共振等离子体的原理及其应用。     

小型腔式微波离子源的研制

研制了１种用在离子束细胞刻蚀装置中的小型腔式微波离子源，它由石英放电管、同轴谐振腔和封装在管一端的二电极引出系统组成。该源由同轴腔激发起的表面波在石英管内产生等离子体柱。为了提高柱末端等离子体离子引出流密度，选用了在内径７．０ｍｍ直管的一端加上一内径５．０ｍｍ衬管的放电管。在微波频率为２．４５ＧＨｚ，输入功率为９３Ｗ下，氮的引出流密度分别为４８．４ｍＡ／ｃｍ２和９１．７ｍＡ／ｃｍ２。这种表面波放电等离子体源体积小、结构简单，可在较宽的压强范围内产生重复性好、工作稳定的等离子体柱。     

内热式液态合金离子源

本文介绍了一种实用的液态合金离子源结构，我们利用本结构研制成功了Ａｕ－Ｓｉ和Ａｕ－Ｓｉ－Ｂｅ液态合金离子源，测出了它们的发射特性。     

ASAP-MS无损检测技术在靛蓝染纺织品文物鉴定中的应用

大气压固体分析探针离子源-质谱(ASAP-MS)技术是一种新型无损检测方法,可在大气压条件下实现样品的原位离子化,再进行质谱检测.以植物靛蓝染色丝绸为标样,故宫博物院院藏文物木镶铜镀马鞍坐垫的蓝色包边为测试样,分别采用超高效液相色谱-质谱(UHPLC-MS)和ASAP-MS两种方法进行检测.结果表明:在UH-PLC-MS测试时靛蓝染色丝绸样品与马鞍坐垫样品中主要物质的保留时间都在6.60 min左右,于245、285和611 nm处有吸收峰,该物质准分子离子峰([M+H]+)为m/z 263.1,说明两样品中的主要物质均为靛蓝,即马鞍坐垫样品为靛蓝染制物品.ASAP-MS测试也均在两样品中检测到m/z 263.1准分子离子峰,与UHPLC-MS测试结果一致,表明在保护文物完整性基础上,ASAP-MS测试能够对靛蓝染色纺织品进行有效鉴别.     

世界铝工业的可持续发展

本文根据国际铝协的统计资料，分析了世界铝工业在土地恢复、能源消耗、水循环使用、含氟污染物排放、固体废物堆存方面的进展以及金属铝循环利用率的提高，说明了世界铝工业发展的可持续性。