掺钪AlN材料特性及HBAR器件性能研究

该文基于掺钪AlN薄膜制备了高次谐波体声波谐振器(HBAR),研究了钪(Sc)掺杂浓度对AlN压电薄膜材料特性及器件性能的影响。研究表明,当掺入Sc的摩尔分数从0增加到25%时,压电应力系数e₃₃增加、刚度 下降,导致Al₁-_xSc_xN压电薄膜的机电耦合系数 从5.6%提升至15.8%,从而使HBAR器件的有效机电耦合系数 提升了3倍。同时,当Sc掺杂摩尔分数达25%时,Al₁-_xSc_xN(x为Sc掺杂摩尔分数)压电薄膜的声速下降13%,声学损耗提高,导致HBAR器件的谐振频率和品质因数降低。     

毫米波三维异质异构集成技术的进展与应用

三维异质异构集成技术是实现电子信息系统向着微型化、高效能、高整合、低功耗及低成本方向发展的最重要方法,也是决定信息化平台中微电子和微纳系统领域未来发展的一项核心高技术。文章详细介绍了毫米波频段三维异质异构集成技术的优势、近年来的发展趋势以及面临的挑战。利用硅基MEMS 光敏复合薄膜多层布线工艺可实现异质芯片的低损耗互连,同时三维集成高性能封装滤波器、高辐射效率封装天线等无源元件,还能很好地处理布线间的电磁兼容和芯片间的屏蔽问题。最后介绍了一款新型毫米波三维异质异构集成雷达及其在远距离生命体征探测方面的应用。     

广饶县推动河(湖)长制管理的做法及成效

分析了广饶县的现状情况,就河(湖)长制的实施细则与做法展开论述,并对取得成效进行总结,以期对其他地区推行河(湖)长制提供参考。     

308nm准分子激光剥离聚酰亚胺薄膜实验研究

为了研究聚酰亚胺薄膜在308nm准分子激光下的剥离效果, 采用实验研究的方法, 分别探究了激光能量密度、光斑重叠率、脉冲频率、衬底温度对激光剥离效果的影响, 并结合显微镜观察剥离后的衬底和薄膜形貌。结果表明, 激光剥离能量阈值约为160mJ/cm2, 在激光能量密度为180mJ/cm2~190mJ/cm2左右、光斑重叠率为68.33%时, 剥离效果较好; 提高衬底温度有利于激光剥离过程。该研究对聚酰亚胺薄膜在柔性电子领域的工业化应用具有一定意义。     

Technical advancements and significance of circumlunar return and reentry spacecraft

As one of the vital steps in the 3rd phase of China’s lunar exploration program(CLEP),the circumlunar return and reentry spacecraft,developed by China Academy of Space Technology(CAST),is used to demonstrate the key technologies of hyper-speed return and reentry spacecraft.The system configuration and flight process are presented in this paper,as well as the analysis of mission characteristics,the key technologies and the technical advancement during the RD progress.The significance of circumlunar return and reentry spacecraft is given at the end.     

浅谈枪支(弹药)库室电子技防测试

一个完整枪支(弹药)库室的安全防范由管理要求、物防要求、技防要求及人防要求完美的结合而成,其中技防要求是需要根据枪支(弹药)库室现场实体情况采取的一项电子技术手段,是起到安全预报警的最佳方式。本文就枪支(弹药)库室安全防范在技防要求方面按现行GA 1016-2012标准在检测中存在的问题做一些探讨、建议,以期为需要枪支(弹药)库室的建设单位、施工单位提供参考。