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1.
Zs. T
kei D. Kelleher B. Mebarki T. Mandrekar S. Guggilla K. Maex 《Microelectronic Engineering》2003,70(2-4):358-362
Passivated single damascene copper SiO2 damascene lines were evaluated in combination with TiSiN and Ta(N)/Ta diffusion barriers. Leakage current, breakdown and time-dependent dielectric breakdown properties were investigated on a wafer level basis for temperatures ranging between room temperature and 150 °C. It is found that the leakage performance of the wafers with a TiSiN barrier is better at room temperature, but at 150 °C the performance levels out with Ta(N)/Ta. Time-dependent dielectric breakdown measurements at 150 °C show that the lifetime of the interconnect is higher with the selected Ta(N)/Ta barrier than for TiSiN. 相似文献
2.
随机激光器的最新进展 总被引:5,自引:2,他引:3
综述了近年来随机激光器的最新研究结果,包括随机激光产生的机制,随机增益介质的制备方法,随机激光器的激励与发光特性和随机激光理论。最后,介绍了随机激光器的应用前景。 相似文献
3.
4.
5.
6.
通过对地杂波O.94μm激光后向反射率的测试,获取不同入射角的多背景后向反射率测试数据。通过对测试数据的分析处理提供特征信息,为激光探浏器设计提供依据。 相似文献
7.
D. Vignolles D. Smirnov G. Rikken B. Raquet H. Rakoto C. Proust M. Nardone J. Léotin F. Lecouturier M. Goiran O. Drachenko J. M. Broto L. Brossard A. Audouard 《Journal of Low Temperature Physics》2003,133(1-2):97-120
An overview over past and present activities and future developments at the Toulouse pulsed magnetic field facility is given, both as far as technical developments of the infrastructure, as well as low temperature physics performed at the LNCMP are concerned. 相似文献
8.
9.
介绍了医用红宝石激光器触摸屏控制系统的基本结构,分析了医用红宝石激光器中主要电磁干扰(EMI)的产生机制,提出了具体的电磁兼容(EMC)技术措施并得到实验验证。 相似文献
10.
激光水下成像技术及其进展 总被引:6,自引:0,他引:6
介绍了近年发展起来的三种主要的激光水下成像方法,即常规水下激光成像、高分辨率水下激光三维成像和偏振激光成像,分析了它们各自的工作原理、特点以及各自的发展状况。 相似文献