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用于模拟固体中电子散射轨迹的蒙特卡洛方法已经在电子探针、电子束微分析和电子束光刻等领域得到极其广阔的应用。扫描电子显微学中,借助于该方法我们可以从理论上系统地研究二次电子和背散射电子的信号产生和发射过程,从而理解各种衬度形成的物理机制。 相似文献
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试述法国TECHMETA公司产的CT4型横拼双金属专用真空电子束焊机原理与构造,其中主要阐述电子枪控制电路板的原理。 相似文献
8.
Ⅰ线光致抗蚀剂可以同时实用电子束和光学系统曝光,在50kV加速电压下,其曝光剂量为50-100μC/cm^2,曝光后在0.7%NaOH溶液内显影1分钟。其灵敏度比PMMA快5倍,分辩率为0.5μm。采用两方法制备CaAsPHEMT:一种用Ⅰ线光致抗蚀剂,对源、漏及栅全部都采用电子束曝光,制备了0.5μm栅长的GaAs PHEMT;另一种将源、漏及栅分割成两部分,其中精细部分由电子束曝光,其余部分由光学系统曝光,用这种方法制备了0.25μm栅长的GaAs PHEMT。Ⅰ 相似文献
9.
傅恩生 《激光与光电子学进展》2002,39(3):25-25
美国阿贡实验室的一个科研小组在无镜单通自由电子激光器中已达到自放大自发辐射饱和,其波长比从前这种无镜自由电子激光器的记录短1000倍以上。该小组展示了在可见光波长(530 nm)和紫外波长(385 nm)上指数增长和饱和的预言。该室研究人员报导了他们在Stephen Milton和Efim Gluskin领导下。逐步向X射线自由电子激光趋近的过程。同步辐射研究的历史仅有45年,真正的突破也只在屈指可数的几年里。据阿贡先进光源实验室副主任David Moncton说,他们的工作是突破中的一项。与普通激光器不同,该室的无镜自由电子激光器用强流电子加速器和… 相似文献
10.
Based on the basic operating principal and the technology characteristic of electron beam physical vapor deposition(EBPVD) technique, EBPVD was used to prepare the micro-layer composites. The effect on the substrate preheating temperature was taken into accounts and the finite element analysis package ANSYS was used to simulate the internal stress field and the potential displacement changing tendency. The results show that one of the most important quality factors on the judgment of micro-layer composites is the adhesion between the substrate and the deposition layers as well as among the different deposition layers. Besides the existance of temperature gradient through the thickness of layers, the main reason for the internal stress in micro-layer composites is the mismatch of various properties of the layer and the substrate of different thermal expansions and crystal lattice types. With the increase of substrate preheating temperature, the inter-laminar shear stress also takes on a tendency of increase but the axial residual stress decrease. 相似文献