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1.
3 基于生物膜与仿生物膜传输机制的生物敏感膜这类敏感膜有的直接利用具有生物活性的生物膜,或者人工生物膜.这种人工膜,无论从结构上还是性质上都与天然生物膜很相似.到目前为止,人工生物膜以双层脂质膜-双分子磷脂膜(BLM)的制作与运用较成功.一个天然生物膜的例子,是嗅觉器官对外界信息传感的机制.图8示出天然嗅觉膜的结构. 相似文献
2.
基于SOI的硅微谐振式压力传感器芯片制作 总被引:2,自引:0,他引:2
采用SOI硅片,基于MEMS技术,设计并加工了一种新型三明治结构的硅微谐振式压力传感器,根据传感器敏感单元的结构设计,制定了相应的制备工艺步骤,并且针对湿法深刻蚀过程中谐振子的刻蚀保护等问题,提出了一种基于氮化硅、氧化硅和氮化硅三层薄膜的保护工艺,实验表明,在采用三层薄膜保护工艺下进行湿法刻蚀10 h后,谐振子被完全释放,三层薄膜保护工艺对要求采用湿法刻蚀镂空释放可动结构具有较高的实用价值。最后对加工完成的谐振式压力传感器进行了初步的性能测试,结果表明,在标准大气压力下谐振子的固有频率为9.932 kHz,品质因数为34。 相似文献
3.
4.
在不用金作掩蔽膜的情况下,在氢氟酸混合液中对采用直流反应溅射方法制备的Ta2O5薄膜进行选择性腐蚀,制成Ta2O5膜H+-ISFET。测试结果表明,该器件在灵敏度、线性范围、线性度、响应时间、滞后、时漂和选择性等方面普遍优于Si3N4膜同类器件。可直接用于溶液的pH值测量。 相似文献
5.
利用自组装、分子印迹技术在声表面波传感器延迟线上制备了用于甲氟磷酸异丙酯检测的单[6-脱氧(1,10-癸二硫醇)巯基]β-环糊精分子印迹自组装敏感膜;采用原子力显微镜技术对敏感膜的结构进行了表征,验证了成膜效果;对传感器的检测性能进行了评价,传感器对1.7mg/m,的甲氟磷酸异丙酯的响应频率变化为2 170 Hz,进行五次连续检测的标准差和离散系数分别为0.157 kHz、0.070;吸附动力学研究得到ka=1.017×10 5mol-1·l·s-1、kd=2.434×10-3 s-1、kA=4.178×107mol-1·l. 相似文献
6.
采用多指示剂聚合构成 pH敏感膜 ,并用神经网络进行光谱处理 ,能有效扩大 pH的敏感范围 ,克服目前光纤化学 pH传感器量程小的缺陷 ,有助于该类传感器的实用化。 相似文献
7.
8.
为了降低气体传感器功耗、获得高的灵敏度和选择性,利用生物提取液的气敏特性,制作了石英晶体复合生物膜气体传感器。对石英晶体表面进行三种不同的预处理后,表面涂覆数种生物提取液膜,研究了基片预处理方法对传感器敏感度的影响和传感器响应信号的长期稳定性。采用紧凑高效的振荡电路,充分利用数据采集卡资源,构成了灵敏的气体检测系统。新型传感器不需要加热、灵敏度高,响应特性在30天内保持稳定。对8MHz左右的石苎晶体气体传感器所采用的频率测量方法准确度为±5Hz。 相似文献
9.
10.