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2.
Au/NiCr/Ta多层金属膜通过磁控溅射沉积在Si(111)基片上。XRD分析其晶体取向,SEM观察薄膜断面形貌,AFM研究薄膜表面粗糙度。结果表明薄膜表面粗糙度与沉积温度有关,随着沉积温度100℃→250℃的改变,薄膜表面发生从粗糙→光滑→粗糙的变化过程。根据不同的沉积温度探讨了薄膜表面粗糙化机理。 相似文献
3.
FANGLiang XIAOFeng TAOZainan KusuhiroMukai 《武汉理工大学学报(材料科学英文版)》2005,20(2):67-70
The density of liquid Ni- Ta alloys was measured by using a modified sessile drop method. It is found that the density of the liquid Ni- Ta alloys decreases with the increasing temperature, but increases with the increase of tantalum concentration in the alloys. The molar volume of liquid Ni- Ta binary alloys increases with the increase of temperature ancl tantalum concentration. 相似文献
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利用钽不溶于酸的性质与稀土分离,用焦硫酸钾熔融,酒石酸浸取,制得被测溶液,采用ICP-AES测定其中钽量,结果令人满意。 相似文献
6.
钽铌水冶分解提取工艺及设备的进展 总被引:6,自引:4,他引:2
介绍了近些年来我国钽铌湿法冶炼中的资源结构,氢氟酸分解、矿浆萃取工艺以及工艺设备的进展情况。比较了主要工艺过程的技术经济指标,指出了当前生产中存在的一些问题,并提出了解决问题的一些意见。 相似文献
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本文利用脉冲直流反应磁控溅射的方法制备了五氧化二钽 (Ta2 O5)薄膜 ,俄歇电子能谱仪测试了薄膜的成分含量 ,椭偏仪测试了Ta2 O5薄膜的厚度和折射率 ,XRD分析了薄膜的晶体结构 ,并且分别研究了氧气含量、基底温度等成膜工艺对薄膜的影响。研究结果表明薄膜的成分主要是由氧气含量决定的。利用金属 绝缘体 (介质膜 ) 金属 (MIM)结构初步对Ta2 O5薄膜进行了电学性能的测试 :皮安电流电压源测试了薄膜的I U特性 ,制备出的薄膜折射率在 2 1~ 2 2 ,MIM的I U特性曲线显示了较好的对称性和低的漏电流密度 相似文献
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