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1.
2.
J. Hong E. S. Lambers C. R. Abernathy S. J. Pearton R. J. Shul W. S. Hobson 《Journal of Electronic Materials》1998,27(3):132-137
Dry etching of InGaP, AlInP, and AlGaP in inductively coupled plasmas (ICP) is reported as a function of plasma chemistry (BCl3 or Cl2, with additives of Ar, N2, or H2), source power, radio frequency chuck power, and pressure. Smooth anisotropic pattern transfer at peak etch rates of 1000–2000Å·min?1 is obtained at low DC self-biases (?100V dc) and pressures (2 mTorr). The etch mechanism is characterized by a trade-off between supplying sufficient active chloride species to the surface to produce a strong chemical enhancement of the etch rate, and the efficient removal of the chlorinated etch products before a thick selvedge layer is formed. Cl2 produces smooth surfaces over a wider range of conditions than does BCl3. 相似文献
3.
光刻胶灰化工艺与深亚微米线条的制作 总被引:5,自引:1,他引:4
随着器件尺寸的缩小,细线条的制作成为很关键的工艺,普通光学光刻已接近其分辨率的极限,而电子束光刻和X射线光刻技术复杂、费用昂贵。本文对光刻胶灰化工艺进行了分析和研究,并应用此工艺进行了深亚微米线条的制作,在普通光学光刻机上制作出宽度小于0.25μm细线条。我们已将此工艺成功地应用在深亚微米MOSFET的制作中。 相似文献
4.
低压铝箔交流腐蚀研究 总被引:4,自引:2,他引:2
在30Hz频率下,通过铝箔在HCl+H2SO4+HNO3+H3PO4体系中的交流腐蚀,研究腐蚀液组成中腐蚀主体及缓蚀剂对铝箔腐蚀的作用,探讨腐蚀过程中电源频率、腐蚀液温度、电流密度及腐蚀时间对铝箔腐蚀的影响。腐蚀液组成的配比恰当,有利于比容的提高。在特定的频率下采用合适的腐蚀液温度、适宜的电流密度和腐蚀时间可以提高铝箔的静电容量。 相似文献
5.
多级脉冲深穿透射孔技术 总被引:4,自引:0,他引:4
目前国内较先进的射孔工艺是增效射孔和三相流射孔,这2种射孔工艺均存在射孔深度和造缝深度浅的问题,尤其是对低渗油藏和纵向渗透率远大于横向渗透率的油藏,此造缝深度并不能满足油田生产的需要.介绍了一种新型的射孔技术,它是一种能进行深度射孔造缝的多级射孔技术,利用三级推进剂燃爆时产生峰值不连续的高温、高压气流,形成多级脉冲,多次冲击射孔孔眼前沿的裂缝,使其有效延伸至地层深处,从而较单独的射孔更能有效地增加油气产量.通过地面水泥靶的试验,证明了该射孔器的延缝功能和安全性;通过塘32等井的现场试验,证明该射孔技术对污染地层解堵有显著效果,可明显地降低地层破裂压力. 相似文献
6.
7.
稳定主槽是当前黄河下游河道治理的关键。窄深河槽具有很强的泄洪能力与输沙能力,是主槽整治追求的目标。黄河下游均是顺直微弯河道,河道水流最基本的主导机理是沿着阻力最小的方向流动,走直路、走近路,主槽整治设计流路应以顺直为上策。当前有必要对微弯整治方案进行再认识,实现对其否定之否定的提高。控制性弯道整治、对口丁坝整治、节点整治都属于双岸整治的范畴,对双岸整治的方向应予肯定。今后的整治应从微弯整治向节点整治发展,逐步过渡到以节点整治为主,最终达到稳定河势流路、高效排洪输沙之目的。 相似文献
8.
高边坡深孔预裂爆破是一项对施工质量、安全要求极高的爆破技术, 必须进行科学的爆破技术设计,确定合理的爆破参数;高度重视爆破钻孔工艺、装药工艺、网络工艺以及边坡稳定性地质分析.在洞巴水电站中不允许采用超欠平衡的开挖方法进行施工,利用设计台阶高度,采用深孔预裂爆破对溢洪道高边坡的稳定及开挖平整度进行有效控制,取得良好效果. 相似文献
9.
10.
地下连续墙在太钢老厂改造工程中的应用 总被引:1,自引:1,他引:0
结合某深基坑支护施工实例 ,介绍了采用多头潜水钻成槽机进行地下连续墙施工的基本原理、工艺流程及注意事项。指出该方案对于在老厂区改造工程狭窄场地条件下 ,解决深基坑施工保护附近建 (构 )筑物安全具有独特的优势 相似文献