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研究了影响LEC生长GaAs单晶锭长的因素。发现,LEC系统中热场分布,热对流,坩埚直径和坩埚初始位置及装料量的多少等对LEC法生长的GaAs单晶锭子长度都有影响。 相似文献
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国外硅单晶质量研究进展(续Ⅰ)王旗(高工),陈振,浦树德,杨晴初(西南技术物理所,成都610041)3硅金属及其它杂质3.1过渡元素的一般概况过渡元素在硅中的污染起决定作用。由于其高的固熔度,高的可动性和两性电活性而难于控制,所以,对于过渡元素的研究... 相似文献
4.
该产品采用气相掺氮技术,即氮气既作为保护气,又通过与硅熔体反应掺入熔体,是硅晶体中氮的来源,解决了气相掺氮掺入量控制的难题。用气相(氮气)直接掺氮,操作简便,成本低廉,但需要用特殊方法精确控制掺入量。 相似文献
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扎波罗热钛镁联合企业具有30余年的半导体生产历史,拥有从原料制备,单晶生长到成品加工的系统工艺,该厂生产规模较大,技术水平高,还有强大的研究开发与检验测试组织。 相似文献
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轻/重水堆中子辐照氢区熔硅退火特性的比较 总被引:2,自引:0,他引:2
用电阻率测量、金相观察以及红外光谱等方法分别研究了氢区熔硅单晶在轻水反应堆和重水反应堆进行中子辐照后的退火特性。电阻率退火曲线表明,两种中子辐照样品都存在氢致施主。随着退火温度由低到高,轻水堆辐照样品存在一个导电类型由p型到n型的转型过程,而且在这种转型过程中,有一个明显的“周边滞后”现象。在重水堆辐照样品中,热处理缺陷表现为氢致Φ型缺陷(大麻坑),而在轻水堆辐照样品中,热处理缺陷表现为尺寸小得多的氢沉淀。红外光谱测量结果表明,重水堆中子辐照的样品经短时退火后观察不到氧沉淀,而在轻水堆辐照样品中存在吸收峰在1230cm-1附近的氧沉淀。 相似文献