基于SEMI标准的集成电路制造装备控制系统设计

随着集成电路制造装备的复杂度越来越高,设计一个符合SEMI标准的集成电路制造装置控制系统显得尤为重要。针对SEMI标准的要求,提出了一种控制系统的结构设计方法。设计的系统定义了SEMI标准中规定的控制模型与状态模型及其他操作,能够满足实际控制需要与SEMI标准的要求。     

大角度离子注入机控制系统软件设计

大角度离子注入机的控制系统具有控制部件和控制算法复杂、支持SEMI自动化软件标准等特点,通过优化软件结构和关键控制算法,成功实现控制系统设计和GEM标准组件设计,测试证明软件自动化程度高、稳定、可靠。     

SEMI半导体材料标准的分析

通过系统收集和分析SEMI全套有关半导体材料新技术标准的资料 ,能了解国际半导体材料新技术的发展方向 ,指导我国半导体材料的生产和检测。同时 ,结合我国对半导体材料标准的需求 ,提出我国微电子材料标准及新技术科研项目建议 ,对规划编制我国的半导体新技术的标准体系及我国半导体产业的发展也具有重要的参考价值。     

Flow analysis of semi solid processing for grey cast iron

Abstract

Fluidity tests for semi solid processed grey cast iron were conducted at different degrees of primary fraction solid using fluidity strips with 2·5, 5 and 14 mm wall thickness. The microstructure of the fluidity strip castings was examined. Fluidity parameters, such as slurry velocity, critical solid concentration and choking range were studied. It can be concluded that critical solid concentration increases with the increase of wall thickness. The slurry velocity drops suddenly at a certain fraction solid very near to the critical solid concentration. Choking range zone can be measured by observing microstructure. A solidification model for fluidity has been developed based on the literature and microstructure study of semi solid processed grey cast iron. A mathematical equation has been obtained from the solidification model by modifying Flemings' fluidity model in order to analyse cavity filling of semi solid grey cast iron.     

基于SECS标准的Linux平台下串口通讯的实现

首先简要介绍了SEMI标准和SECS标准以及Linux操作系统 ,然后叙述了Linux下串口通讯的特点和设置 ,并给出了基于SECS协议的串口通讯的实例     

铝合金表面激光熔覆Fe-Al青铜过渡区的组织结构及其在小能多冲作用下的行为

研究了Al－Si合金表面激光熔覆Fe－Al青铜合金过渡区的组织和相结构;探讨了在小能量多冲作用下过渡区的行为。结果表明：熔覆层／基材间过渡区的组织和相结构存在一定的层次,靠近熔覆层的一侧为不均匀的块状Cu9Al4＋Cu3Al;中间区为块状Cu9Al4＋针状CuAl2;向基材靠近时,过渡区的针状CuAl2相逐渐减少,α-Al相逐渐增多。在小能多冲作用下,过渡区裂纹形成干脆性相CUAl2富集的区域,激光扫描速度对CUAl2相在过渡区的分布厚度影响显著,进而影响到过渡区的抗小能多冲行为。扫描速度在10mm／s～12mm／s时,熔覆层具有较高的抗冲击性能;扫描速度≤8mm／s或≥14mm／s时,其抗冲击性能显著降低。     

集成电路生产线多区域设备数据快速采集集成技术

介绍了集成电路生产线多区域设备数据快速采集集成技术的实现方法,多个Host服务分区域管理生产线中的设备,遵循SEMI相关标准,与生产线设备建立通讯链路,采用周期订阅的方式采集Host服务所管控的区域设备数据,并将采集数据存储于远程SQL Server数据服务器进行数据集成。     

暂态电能质量评估指数

引用IEEE 1159-1995标准中有关暂态电能质量事件的分类和定义,介绍以此定义为基础的SARFI指数及其评估暂态电能质量的方法,最后给出了相应的例子进行说明.     

SEMI与春天相约盛会与激情干杯

进入2004年的中国半导体产业以其高速发展的成就,再次成为全球半导体产业的亮点,SEMICON China 2004 在上海顺利召开。为了向半导体行业全程报道此次盛会,也为了展示中国半导体产业蓬勃发展的良好趋势,作为SEMICONChina 2004合作宣传媒体的《半导体技术》杂志,再次隆重推出“SEMI观察”栏目。让业界了解SEMICON China,沟通信息创造商机。     

半导体及IC设备不锈钢表面技术研究

介绍了半导体及IC产业设备之关键不锈钢零部件的表面处理工艺方法,重点叙述了国外200 mm(8英寸)以上半导体及IC工艺设备为了避免特殊环境的腐蚀和颗粒的产生而采用的最为先进的表面处理EP工艺技术,诠释了半导体及IC产业设备零部件超高纯(UHP)技术指标要素,另外对我国目前半导体及IC行业的表面处理现状进行了研究和分析,并提出了努力方向。