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1.
高效率平面磁控溅射器的研制 总被引:1,自引:1,他引:0
介绍一种新型磁控溅射装置。它采用两块极性相对的环状磁铁的设计方法,通过扩大靶表面的等离子放电区域面积,使传统磁控溅射枪使用中经常受到的两个限制──溅射速率与靶的利用率得到了较大的改善。实验中铜靶在溅射功率密度为11W/cm~2时溅射速率约为800nm/min,如果继续提高功率则可获得更高的速率。而靶的利用率可达64%左右。另外,在认为出射粒子符合cos~nθ分布的前提下,发现当n=3.3时,实验数据和理论数据符合得较好。 相似文献
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3.
本文得到了过程e~ e→J/ψ→γB(J~η)、B(J~η)→P_1P_2的矩的光子角分布,提供了确定ξ(2230) 自旋的新途径。 相似文献
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9.
《Planning》2016,(5):21-26
通过符合入射4He能量在386 MeV以下的去弹截面和弹性散射角分布实验数据,得到了一组普适的4He能量在386 MeV以下的去弹截面和弹性散射角分布实验数据,得到了一组普适的4He与质量数A为204He与质量数A为20209靶核反应的唯象光学模型势参数,理论结果与实验数据作了分析比较,理论结果与实验数据一致。 相似文献
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