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像许多材料供应厂商一样,玻璃产品的制造厂商也期望能在其产品上雕刻出二维条形码,并从中受益。这些标记能起到防伪的功能,并能打出产品的生产地、出厂日期和加工方法等。然而,与其他材料相比,在玻璃中打标是非常困难的,很多方法难以胜任,包括激光打标方法。 相似文献
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介绍了一种STEPPER通用测试掩模(UTM)的设计构成及各测试元素图形的作用。在此基础上,分析了电子束制作UTM的误差,并阐述了UTM的测试方法、数据处理及其对STEPPER性能的影响。 相似文献
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采用自行研制的LB自动提膜装置,制备出大面积(10×8cm2)、高质量的PMMA超薄抗蚀剂膜,并将其用于高分辨率铬掩模版的研制。通过电子束曝光,湿法蚀刻,制作了分辨率优于0.5μm,特征线宽0.38μm的4(100mm)铬掩模版。 相似文献
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