| 低温磁控溅射制备CdS薄膜的结构和光学特性 |
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| 引用本文： | 朱燕艳,徐闰,方泽波. 低温磁控溅射制备CdS薄膜的结构和光学特性[J]. 红外与毫米波学报, 2014, 33(1): 40-44 |
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| 作者姓名： | 朱燕艳 徐闰 方泽波 |
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| 作者单位： | 上海电力学院 数理学院,上海大学 材料系,绍兴纹理学院 物理系 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目（面上项目，重点项目，重大项目） |
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| 摘 要： | 用磁控溅射的方法在透明导电氧化物衬底上制备了CdS薄膜,制备时的衬底温度为30~200℃.X射线衍射测试结果表明在这一条件下制备的CdS薄膜是六角纤锌矿的多晶结构.扫描电子显微镜结果显示薄膜具有较好的晶体质量,这一结论也和拉曼光谱、紫外-可见吸收光谱、光致发光光谱的结果一致.拉曼光谱显示CdS薄膜内部的压应力随着制备温度的提高而增大.
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| 关 键 词： | CdS 磁控溅射 太阳能电池 |
| 收稿时间： | 2012-12-20 |
| 修稿时间： | 2013-01-26 |
Structural and optical properties of CdS thin films prepared by RF sputtering |
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| ZHU Yan-Yan,XU Run and FANG Ze-Bo. Structural and optical properties of CdS thin films prepared by RF sputtering[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2014, 33(1): 40-44 |
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| Authors: | ZHU Yan-Yan XU Run FANG Ze-Bo |
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| Affiliation: | Shanghai University of Electric Power,Shanghai University,Shaoxing University |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | CdS magnetron sputtering solar cell |
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