电容传感器对介质厚度的检测

本文论述用电容传感器检测介质材料厚度，对测量灵敏度和检测厚度精度进行分析，指出减小介质介电常数变化影响的方法。本文提出的频率变换型测厚方法，所需设备结构简单，处理方法先进，精度高，还具有自校和自补偿功能。