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| TOPCo n电池低压硼扩散设备的发展趋势分析 | |
| 作者姓名： | 刘建华 龙辉 李程 梁浩 李楠 |
| 作者单位： | 1. 湖南红太阳新能源科技有限公司;2. 湖南红太阳光电科技有限公司;3. 中国电子科技集团第四十八研究所 |
| 摘 要： | 随着太阳能光伏发电对晶体硅电池高转化效率需求的不断增加,对晶体硅电池技术关键设备投资性价比和发电性能的要求更高。对晶硅电池发展工艺技术进行了阐述,分析讨论了国内外隧穿氧化层钝化接触电池（简称“TOPCon”）低压硼扩散炉的发展现状,探讨了硼扩散设备技术难点和未来研究方向。 |
| 关 键 词： | 太阳能 光伏发电 隧穿氧化层钝化接触电池 高转化效率 硼扩散 |