|
|||||
|
|
| SEMI标准在半导体制造设备中的应用 | |
| 引用本文： | 韦薇,林煦呐,张帅,谢琼,杨师.SEMI标准在半导体制造设备中的应用[J].电子工业专用设备,2023(2):58-63. |
| 作者姓名： | 韦薇 林煦呐 张帅 谢琼 杨师 |
| 作者单位： | 1. 中电科电子装备集团有限公司;2. 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 摘 要： | SEMI标准是一项国际通用的半导体行业标准，为研究SEMI标准在半导体制造设备中的应用情况，介绍了SEMI S2半导体设备安全准则、SEMI F47半导体设备电压暂降抗扰度标准并说明了标准的实际应用。分析了SEMI S23半导体设备能源、电力和原料的使用效率标准、SECS/GEM通讯标准及其研究应用现状；提出了我国半导体产业的快速发展需要加大SEMI标准的普及应用。 |
| 关 键 词： | 半导体制造设备 SEMI S2标准 SEMI F47标准 |