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责任编辑
分类号
杂志ISSN号
SEMI标准在半导体制造设备中的应用
作者姓名:
韦薇
林煦呐
张帅
谢琼
杨师
作者单位:
1. 中电科电子装备集团有限公司;2. 中国电子科技集团公司第四十五研究所
摘 要:
SEMI标准是一项国际通用的半导体行业标准,为研究SEMI标准在半导体制造设备中的应用情况,介绍了SEMI S2半导体设备安全准则、SEMI F47半导体设备电压暂降抗扰度标准并说明了标准的实际应用。分析了SEMI S23半导体设备能源、电力和原料的使用效率标准、SECS/GEM通讯标准及其研究应用现状;提出了我国半导体产业的快速发展需要加大SEMI标准的普及应用。
关 键 词:
半导体制造设备
SEMI S2标准
SEMI F47标准
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