非接触白光干涉法测量圆柱筒壁厚

0 引言 在科研和生产实践中,常会碰到一些精密测量圆柱筒壁厚的问题,在材料刚性较好而精度要求又不很高时,可用机械的或电磁的方法实现,但对于要求高精度而材料的刚性又不很好,特别是当筒壁厚度与内径相比相当小时,这种接触测量方式很难实现。