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| 高精度激光伺服测微新方法的研究 | |
| 引用本文： | 万德安,孔健.高精度激光伺服测微新方法的研究[J].压电与声光,1999,21(3):235-238. |
| 作者姓名： | 万德安 孔健 |
| 作者单位： | 同济大学机械工程系 |
| 摘 要： | 以激光自聚焦伺服原理为基础研究高精度的测微新方法，具有分辨率高，结构轻巧，动态响应快，非接触测量及价格低廉等优点，能够广泛方便地应用在各种位移、振动、变形及产品质量的尺寸检测等领域，测量精度可稳定达到０．１μｍ，自聚焦伺服测量范围可达－１０μｍ～＋１０μ |
| 关 键 词： | 激光测微 自聚焦伺服 激光伺服聚焦测量 |
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