| HgCdTe/CdZnTe液相外延材料的倒易空间图研究 |
| |
| 引用本文： | 王庆学,魏彦锋,方维政,杨建荣,何力. HgCdTe/CdZnTe液相外延材料的倒易空间图研究[J]. 功能材料与器件学报, 2005, 11(1): 112-116 |
| |
| 作者姓名： | 王庆学 魏彦锋 方维政 杨建荣 何力 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所半导体材料与器件研究中心,上海,200083 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金委创新研究群体科学基金(No.60221502) |
| |
| 摘 要： | 采用高分辨X射线衍射的例易空间图研究了HgCdTe／CdZnTe(-0．044％晶格失配)液相外延材料界面处品格结构，结果显示，通常使用的10μm厚的碲镉汞液相外延材料的晶格相对碲锌镉衬底已处于完全弛豫状态，并且外延层和衬底的品向发生了0．01。的偏离，但是，由于外延层中存在着组分梯度以及衬底和外延层热膨胀系数存在着差异，界面处外延层中仍存在着应力和应变。对称衍射和非对称衍射的实验结果均显示外延材料的例易空间图沿垂直于散射矢量方向有所扩展．这一结果表明晶格失配的弛豫使得界面处外延层的晶体结构呈镶嵌结构。实验也发现，外延层的非对称衍射倒易空间图的扩展偏离散射矢量方向，根据弛豫线模型，这也是由于界面处外延层存在组分梯度和应变梯度所造成的。
|
| 关 键 词： | HgCdTe／CdZnTe 倒易空间图 弛豫线模型 |
| 文章编号： | 1007-4252(2005)01-0112-05 |
| 修稿时间： | 2004-04-15 |
Reciprocal space maps of HgCdTe/CdZnTe heterostructures grown by liquid phase epitaxy |
| |
| WANG Qing-xue,WEI Yan-feng,FANG Wei-zheng,YANG Jian-rong,HE Li. Reciprocal space maps of HgCdTe/CdZnTe heterostructures grown by liquid phase epitaxy[J]. Journal of Functional Materials and Devices, 2005, 11(1): 112-116 |
| |
| Authors: | WANG Qing-xue WEI Yan-feng FANG Wei-zheng YANG Jian-rong HE Li |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | HgCdTe/CdZnTe heterostructures reciprocal space maps relaxation line model |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
